中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范

Code for design of electronic industry clean room

GB 50472-2008

主編部門：中華人民共和國工業(yè)和信息化部

批準(zhǔn)部門：中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部
施行日期：2 0 0 9 年 7 月 1 日

中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部公告
第200號
關(guān)于發(fā)布國家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》的公告

現(xiàn)批準(zhǔn)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》為國家標(biāo)準(zhǔn)，編號為GB 50472-2008，自2009年7月1日起實施。其中，第3．2．5、4．3．3(1)、5．4．2、 5．5．6、 6．2．1、 6．2．6、 6．2．7、 6．2．8、 6．2．9、6．3．1、 7．1．6、 7．5．1、 7．5．3(1、2、4、5、6、7、8)、 7．5．4、 7． 5． 6、7．6．1、 7．7．2、 7．7．7(2、3)、 8．3．1、 8．3．2、 8．5．1、 8．5．2(1)、8．5．3(3)、 9．2． 3(3、4、5)、 10． 1 5、 10． 1． 6、 10． 1． 7(2、3)、10．1．8(1、3、4)、 10．2． 5、 10． 2． 6、 10． 4． 2、 10． 4． 3(1、2、3)、10．4．5、 11．2．1(1、2、3、5、6、7、8)、 11．2．2、 11． 2． 3、 11． 2． 5、11．3．1、 12．1．8、 12．2．3(1)、 12．2．4、 12．3．2、 12．3．4(1、3)、12．3．6、12．3．7、12．3．8、12．4．4、13．2．1(2、3)、13．3．4條(款)為強制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。
本規(guī)范由我部標(biāo)準(zhǔn)定額研究所組織中國計劃出版社出版發(fā)行。

二〇〇八年十二月十五日

前言

      本規(guī)范是根據(jù)建設(shè)部“關(guān)于印發(fā)《2005年工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范制訂、修訂計劃(第二批)》的通知”(建標(biāo)函〔2005〕124號)的要求，由中國電子工程設(shè)計院會同有關(guān)單位編制完成的。
      本規(guī)范在編制過程中，編制組結(jié)合我國電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計建造和運行的實際情況，進(jìn)行了廣泛的調(diào)查研究，收集整理相關(guān)的專題報告、測試資料，認(rèn)真總結(jié)多年來電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計建造和運行方面的經(jīng)驗，廣泛征求了國內(nèi)有關(guān)單位的意見，最后經(jīng)審查定稿。
      本規(guī)范共分15章和4個附錄。主要內(nèi)容有：總則、術(shù)語、電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計要求、總體設(shè)計、工藝設(shè)計、潔凈建筑設(shè)計、空氣凈化和空調(diào)通風(fēng)設(shè)計、給水排水設(shè)計、純水供應(yīng)、氣體供應(yīng)、化學(xué)品供應(yīng)、電氣設(shè)計、防靜電與接地設(shè)計、噪聲控制、微振控制等。
      本規(guī)范中以黑體字標(biāo)志的條文為強制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。
      本規(guī)范由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)管理和對強制性條文的解釋，由中國電子工程設(shè)計院負(fù)責(zé)具體內(nèi)容的解釋。本規(guī)范在執(zhí)行過程中，希望各有關(guān)單位結(jié)合工程實踐，認(rèn)真總結(jié)經(jīng)驗，若發(fā)現(xiàn)需要修改和補充之處，請將意見和有關(guān)資料寄至中國電子工程設(shè)計院《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》管理組(地址：北京市海淀區(qū)萬壽路27號，郵政編碼：100840，傳真：010—68217842，E-mail．xiao—hongmei@ceedi．com．cn)，以供今后修改時參考。
      本規(guī)范主編單位、參編單位和主要起草人：
      主編單位：中國電子工程設(shè)計院
      參編單位：信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計研究院有限公司 上海電子工程設(shè)計研究院有限公司 深圳市電子院設(shè)計有限公司 中國電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司 北京中瑞電子系統(tǒng)工程設(shè)計院
      主要起草人：陳霖新 秦學(xué)禮 晁陽 張利群 王唯國 侯憶 穆京祥 趙海 高艷敏 王毅勃 肖紅梅 李杰 李錦生 路振福 章光護 鄒英杰 鐘景華 牛光宏 張曉敏 周志剛 陳騮 焦明偉

       以下規(guī)范內(nèi)容由合景凈化工程公司i364x9.cn進(jìn)行整理編輯

1 總 則

1．0．1 為在電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計中，做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟適用、安全可靠、節(jié)約資源、降低能耗、確保質(zhì)量，并符合勞動衛(wèi)生和環(huán)境保護的要求，制定本規(guī)范。

1．0．2 本規(guī)范適用于新建、擴建和改建的電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計。

1．0．3 電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計應(yīng)滿足需潔凈環(huán)境的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求，并應(yīng)根據(jù)具體情況為今后產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展或生產(chǎn)工藝改進(jìn)的需要預(yù)留條件。

1．0．4 電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計應(yīng)為施工安裝、調(diào)試檢測和安全運行、維護管理創(chuàng)造必要的條件。

1．0．5 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計除應(yīng)執(zhí)行本規(guī)范外，尚應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。

2 術(shù) 語

2．0．1 潔凈室 clean room

      空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。

2．0．2 潔凈區(qū) clean zone
      空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子?？臻g內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制?？梢允情_放式或封閉式。

2．0．3 人員凈化用室 room for cleaning human body
      人員在進(jìn)入潔凈室(區(qū))之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。

2．0．4 物料凈化用室 room for cleaning material
      物料在進(jìn)入潔凈室(區(qū))之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。

2．0．5 粒徑 partical size
      由給定的粒子尺寸測定儀響應(yīng)當(dāng)量于被測粒子等效的球體直徑。對離散粒子計數(shù)、光散射儀器采用當(dāng)量光學(xué)直徑。

2．0．6 懸浮粒子 airborne particles
      用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0．1～5μm的固體和液體粒子。

2．0．7 含塵濃度 particle concentration
      單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù)。

2．0．8 潔凈度 cleanliness
      以單位體積空氣某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分的潔凈程度。

2．0．9 空態(tài) as-built
      設(shè)施已經(jīng)建成，所有動力接通并運行，但無生產(chǎn)設(shè)備、材料及人員。

2．0．10 靜態(tài) at-rest
      設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝，并按業(yè)主及供應(yīng)商同意的狀態(tài)運行，但無生產(chǎn)人員。

2．0．11 動態(tài) operational
      設(shè)施以規(guī)定的狀態(tài)運行，有規(guī)定的人員在場，并在商定的狀況下進(jìn)行工作。

2．0．12 氣流流型 air pattern
      室內(nèi)空氣的流動形態(tài)和分布。

2．0．13 單向流 unidirectional airflow
      沿單一方向呈平行流線并且橫斷面上風(fēng)速一致的氣流。包括垂直單向流和水平單向流。

2．0．14 非單向流 non-unidirectional airflow
      凡不符合單向流定義的氣流。

2．0．15 混合流 mixed airflow
      單向流和非單向流組合的氣流。

2．0．16 潔凈工作區(qū) clean working area
      指潔凈室內(nèi)離地面高度0．8～1. 5m(除工藝特殊要求外)的區(qū)域。

2．0．17 空氣吹淋室 airshower
      利用高速潔凈氣流吹落并清除進(jìn)入潔凈室人員或物料表面附著粒子的小室。

2．0．18 氣閘室 airlock
      設(shè)置在潔凈室出入口，阻隔室外或相鄰房間的污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間。

2．0．19 傳遞窗 passbox
      在潔凈室隔墻上設(shè)置的傳遞物料和工器具的開口。兩側(cè)窗扇的開啟應(yīng)進(jìn)行聯(lián)鎖控制。

2．0．20 潔凈工作服 clean working garment
      為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最低程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。

2．0．21 高效空氣過濾器 (HEPA)high efficiency particulate air filter
      在額定風(fēng)量下，最易穿透粒徑法的效率在99．95％以上及氣流初阻力在220Pa以下的空氣過濾器。

2．0．22 超高效空氣過濾器 (ULPA)ultra low penetration air filter
      在額定風(fēng)量下，最易穿透粒徑法的效率在99．9995％以上及氣流初阻力在250Pa以下的空氣過濾器。

2．0．23 微環(huán)境 minienvironment
      將產(chǎn)品生產(chǎn)過程與操作人員、污染物進(jìn)行嚴(yán)格分隔的隔離空間。

2．0．24 風(fēng)機過濾器機組 fan filter unit(FFU)
      由HEPA或ULPA與風(fēng)機組合在一起，構(gòu)成自身可提供動力的末端空氣凈化的裝置。

2．0．25 自凈時間 cleanliness recovery characteristic
      潔凈室被污染后，凈化空調(diào)系統(tǒng)開始運行至恢復(fù)到穩(wěn)定的規(guī)定室內(nèi)潔凈度等級的時間。

2．0．26 技術(shù)夾層 technical mezzanine
      潔凈廠房中以水平構(gòu)件分隔構(gòu)成的空間，用于安裝輔助設(shè)備和公用動力設(shè)施以及管線等。

2．0．27 技術(shù)夾道 technical tunnel
      潔凈廠房中以垂直構(gòu)件分隔構(gòu)成的廊道，用于安裝輔助設(shè)備和公用動力設(shè)施以及管線等。

2．0．28 技術(shù)豎井 technical shaft
      潔凈廠房中主要以垂直構(gòu)件分隔構(gòu)成的井式管廊，用于安裝輔助設(shè)備和公用動力設(shè)施以及管線等。

2．0．29 專用消防口 fire-firing access
      消防人員為滅火而進(jìn)入建筑物的專用入口，平時封閉，使用時由消防人員從室外打開。

2．0．30 純水 pure water
      雜質(zhì)含量很少的水，其電解質(zhì)雜質(zhì)含量(常以電阻率表征)和非電解質(zhì)雜質(zhì)(如微粒、有機物、細(xì)菌和溶解氣體等)含量均要求很少的水。

2．0．31 常用氣體 bulk gas
      電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，廣泛使用的氫氣、氧氣、氮氣、氬氣、氦氣等氣體。

2．0．32 特種氣體 special gas
      電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，使用的硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷、四氯化硅、氯氣等氣體。這些氣體具有可燃、有毒、腐蝕或窒息等特性。

2．0．33 化學(xué)品 chemical
      指電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中使用的酸、堿、有機溶劑和氧化物等。

2．0．34 防靜電環(huán)境 ESD controlled environment
      具有防止靜電危害的特定環(huán)境，在此環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電或靜電產(chǎn)生后易于泄放或消除，靜電噪聲難以傳播。

2．0．35 表面電阻 surface resistance
      在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過兩極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。

3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計要求

3．1 一般規(guī)定

3．1．1 電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時還應(yīng)提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數(shù)要求。

3．1．2 生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求，對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需用的包括化學(xué)品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質(zhì)的質(zhì)量進(jìn)行控制。

3．1．3 潔凈室(區(qū))內(nèi)產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置，其制作的材質(zhì)和清潔方式應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求選擇。

3．1．4 潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等性能測試和認(rèn)證應(yīng)符合本規(guī)范附錄D的要求。

3．2 生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計要求

3．2．1 潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。
潔凈室(區(qū))設(shè)計時，空氣潔凈度等級所處狀態(tài)(空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài))應(yīng)與業(yè)主協(xié)商確定。

3．2．2 各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定；無要求時，可按本規(guī)范附錄A確定。

3．2．3 潔凈室(區(qū))的溫度和相對濕度應(yīng)按表3．2 3確定。

3．2．4 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)所需純水水質(zhì)、氣體及化學(xué)品的純度和雜質(zhì)含量等應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定。

3．2．5 單向流和混合流潔凈室(區(qū))的噪聲級(空態(tài))不應(yīng)大于65dB(A)，非單向流潔凈室(區(qū))的噪聲級(空態(tài))不應(yīng)大于60dB(A)。

3．2．6 潔凈室(區(qū))的微振動控制設(shè)計應(yīng)滿足精密設(shè)備、儀器的振動容許值要求。無要求時，可按本規(guī)范附錄C或根據(jù)其工作特性確定。

4 總體設(shè)計

4．1 位置選擇和總平面布置

4．1．1 潔凈廠房位置的選擇，應(yīng)根據(jù)下列要求經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定：
      1 應(yīng)布置在大氣含塵和有害氣體或化學(xué)污染物濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域；
      2 應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體或化學(xué)污染物的工廠、貯倉、堆場等有嚴(yán)重空氣污染、振動或噪聲干擾或強電磁場的區(qū)域。不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染源時，則應(yīng)位于全年最小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)；
      3 在廠區(qū)內(nèi)應(yīng)布置在環(huán)境清潔、污染物少、人流和物流不穿越或少穿越的地段。

4．1．2 潔凈廠房凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)口與城市交通干道之間的距離(相鄰側(cè)邊沿)宜大于50m。當(dāng)潔凈廠房與交通干道之間設(shè)有城市綠化帶時，可根據(jù)具體條件適當(dāng)減少，但不得小于25m。

4．1．3 對于有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應(yīng)實際測定周圍現(xiàn)有振源和模擬振源的影響，并應(yīng)與容許振動值比較分析后確定。

4．1．4 廠區(qū)總平面布置時，應(yīng)按潔凈生產(chǎn)、非潔凈生產(chǎn)、輔助生產(chǎn)、公用動力系統(tǒng)和辦公、生活等功能區(qū)合理布局。
潔凈廠房宜根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點和各種功能區(qū)的要求，按組合式、大體量的綜合性廠房布置。

4．1．5 潔凈廠房周圍及其周邊的道路面層，應(yīng)選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。

4．1．6 潔凈廠房周圍應(yīng)進(jìn)行綠化，但不宜種植對生產(chǎn)環(huán)境和產(chǎn)品質(zhì)量有影響的植物。

4．1．7 潔凈廠房宜設(shè)置環(huán)行消防車道，若有困難時可沿廠房的兩長邊側(cè)設(shè)消防車道。消防車道的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

4．2 潔凈室型式

4．2．1 潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。

4．2．2 電子工業(yè)潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間，應(yīng)包括活動地板以下的下技術(shù)夾層、潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。

4．2．3 潔凈室型式的選擇應(yīng)綜合生產(chǎn)工藝要求、節(jié)約能源、減少投資和降低運行費用等因素確定，各種空氣潔凈度等級的電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對空氣潔凈度凈度要求嚴(yán)格時，宜采用微環(huán)境等型式。

4．3 潔凈室布置和綜合協(xié)調(diào)

4．3．1 潔凈廠房的平面布置應(yīng)合理安排潔凈生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)和動力區(qū)，并應(yīng)符合下列要求：
      1 潔凈室(區(qū))人員凈化、物料凈化和各種輔助用房，應(yīng)合理分區(qū)布置；
      2 生產(chǎn)工藝或生產(chǎn)設(shè)備有特殊要求時，宜分隔為單獨的房間；
      3 生產(chǎn)過程中排放腐蝕性氣體的生產(chǎn)設(shè)備或生產(chǎn)工序應(yīng)分類、集中布置或與其他生產(chǎn)房間分隔；
      4 發(fā)熱量、發(fā)塵量大的生產(chǎn)工序或生產(chǎn)設(shè)備，宜與空氣潔凈度要求嚴(yán)格的房間分隔布置；
      5 潔凈室(區(qū))的輔助設(shè)備、維修間等技術(shù)支持區(qū)，宜集中布置在潔凈室(區(qū))的相鄰房間，技術(shù)支持區(qū)的空氣潔凈度等級應(yīng)低于潔凈室(區(qū))的等級；
      6 若需在潔凈室(區(qū))內(nèi)設(shè)置潔凈電梯時，應(yīng)采取氣閘間、潔凈送風(fēng)措施；
      7 應(yīng)符合有關(guān)防爆、防火、消防等要求。

4．3．2 潔凈室(區(qū))的空間布置應(yīng)滿足下列要求：
      1 生產(chǎn)設(shè)備、物料運輸系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求布置，并應(yīng)做到有效、靈活和操作方便；
      2 各類管線的空間布置應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝、安全間距和維修要求；
      3 終端高效空氣過濾器、照明燈具和各種公用動力設(shè)施的布置，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝、潔凈度等級、安全生產(chǎn)和維修要求；
      4 潔凈生產(chǎn)層的高度應(yīng)按生產(chǎn)設(shè)備、微環(huán)境裝置和物料運輸設(shè)備的外形尺寸確定。技術(shù)夾層高度應(yīng)根據(jù)具體工程要求確定。

4．3．3 潔凈室(區(qū))內(nèi)應(yīng)少分隔，但下列情況應(yīng)予分隔：
      1 按火災(zāi)危險性分類，甲、乙類的房間與相鄰的生產(chǎn)區(qū)段或房間之間，或有防火分隔要求時，應(yīng)設(shè)隔墻；
      2 在電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中，經(jīng)常不同時使用的兩個生產(chǎn)區(qū)段或房間之間；
      3 生產(chǎn)過程中排放影響產(chǎn)品質(zhì)量的有害氣體或化學(xué)污染物的工序、設(shè)備，宜分隔設(shè)獨立房間。

4．3．4 潔凈廠房的布置應(yīng)綜合協(xié)調(diào)生產(chǎn)操作、設(shè)備安裝和維修、公用動力管線、氣流流型以及凈化空調(diào)系統(tǒng)等各類技術(shù)設(shè)施的需要。

5 工藝設(shè)計

5．1 一般規(guī)定

5．1．1 潔凈廠房的工藝設(shè)計、工藝布局應(yīng)為電子產(chǎn)品發(fā)展以及產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)預(yù)留必要的條件。

5．1．2 潔凈廠房工藝設(shè)計應(yīng)確定各種生產(chǎn)條件，在滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)要求的前提下，應(yīng)做到安全性能好、建設(shè)投資少、能量消耗少、運行費用低、生產(chǎn)效率高。

5．1．3 潔凈廠房工藝設(shè)計應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級要求設(shè)置人流路線、物料運輸和倉儲設(shè)施。

5．2 工藝布局

5．2．1 潔凈廠房的工藝布置應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)工藝流程、潔凈室的氣流流型、工藝設(shè)備的安裝和維修、物料運輸?shù)纫蟠_定。
在單向流潔凈室內(nèi)進(jìn)行生產(chǎn)工藝設(shè)備、操作程序、人員流動路線和物料傳輸布置時，應(yīng)采取避免發(fā)生氣流干擾和交叉污染的措施。

5．2．2 工藝布局應(yīng)避免人流和物流之間的混雜和交叉，宜分別設(shè)置人員入口、物料入口和設(shè)備出入口，并應(yīng)在各自的入口處設(shè)置相應(yīng)的凈化設(shè)施。

5．2．3 在滿足生產(chǎn)工藝和微振控制、噪聲控制等要求的前提下，空氣潔凈度嚴(yán)格的潔凈室(區(qū))宜靠近空調(diào)機房布置；空氣潔凈度等級相同的工序或工作室宜集中布置。

5．2．4 潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴(yán)格的工序(設(shè)備)應(yīng)遠(yuǎn)離出入口和可能干擾氣流的場所設(shè)置，并宜布置在上風(fēng)側(cè)；易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置或下風(fēng)側(cè)。

5．2．5 工藝布置時，應(yīng)根據(jù)大型生產(chǎn)工藝設(shè)備的運輸、安裝、維修的要求設(shè)置運輸通道、安裝口或檢修口。

5．2．6 潔凈廠房內(nèi)不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))之間聯(lián)系頻繁時，應(yīng)采取防止污染的措施。

5．3 人員凈化

5．3．1 人員凈化用室和設(shè)施應(yīng)根據(jù)潔凈室的規(guī)模、空氣潔凈度等級設(shè)置，并應(yīng)設(shè)置生活用室。人員凈化用室宜按圖5．3．1的人員凈化程序進(jìn)行布置。

5．3．2 人員凈化用室，應(yīng)根據(jù)換鞋(凈鞋)、更外衣、更潔凈工作服等的需要設(shè)置。雨具存放、廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用房和空氣吹淋室、氣閘室、潔凈工作服洗滌間及干燥間等其他用室，可根據(jù)需要設(shè)置。

5．3．3 潔凈廠房內(nèi)人員凈化用室和生活用室的建筑面積，應(yīng)根據(jù)潔凈室的規(guī)模、空氣潔凈度等級和潔凈室內(nèi)工作人員數(shù)量等確定，宜按潔凈室(區(qū))內(nèi)設(shè)計人數(shù)平均2～4㎡／人計算。

5．3．4 人員凈化用室和生活用房的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 凈鞋設(shè)施應(yīng)設(shè)在潔凈室入口處；
      2 更換外衣和更換潔凈工作服用室不應(yīng)設(shè)置在同一房間內(nèi)；
      3 外衣存放柜應(yīng)按潔凈室(區(qū))內(nèi)設(shè)計人數(shù)配置；
      4 應(yīng)設(shè)置存放潔凈工作服，且?guī)в锌諝鈨艋拇嬉略O(shè)施；
      5 應(yīng)設(shè)置感應(yīng)式洗手和烘干設(shè)施；
      6 廁所宜設(shè)在進(jìn)入人員凈化用室之前，需設(shè)在人員凈化用室內(nèi)時，應(yīng)設(shè)置前室。

5．3．5 潔凈廠房空氣吹淋室的設(shè)計，應(yīng)符合下列要求：
      1 在潔凈室(區(qū))的入口處宜設(shè)空氣吹淋室。當(dāng)不設(shè)空氣吹淋室時，應(yīng)設(shè)氣閘室；
      2 吹淋室應(yīng)設(shè)在更換潔凈工作服后的相鄰部位；
      3 單人空氣吹淋室，應(yīng)按最大班人數(shù)每30人設(shè)一臺。潔凈室(區(qū))工作人員超過5人時，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)單向旁通門；
      4 空氣吹淋室的進(jìn)、出門不得同時開啟，應(yīng)采取連鎖控制措施；
      5 空氣潔凈度等級為5級或嚴(yán)于5級的垂直單向流潔凈室(區(qū))，宜設(shè)氣閘室。

5．3．6 人員凈化用室和生活用室的空氣潔凈度等級，宜由外至內(nèi)逐步潔凈，室內(nèi)可送入經(jīng)過高效空氣過濾的潔凈空氣。
潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級宜低于相鄰潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級；當(dāng)設(shè)有潔凈工作服洗滌室時，洗滌室的空氣潔凈度等級宜為8級。

5．4 物料凈化

5．4．1 潔凈室(區(qū))內(nèi)的設(shè)備和物料出入口，應(yīng)獨立設(shè)置，并應(yīng)根據(jù)設(shè)備和物料的特征、性質(zhì)、形狀等設(shè)置凈化用室及相應(yīng)物凈設(shè)施。

5．4．2 物料凈化用室與潔凈室(區(qū))之間應(yīng)設(shè)置氣閘室或傳遞窗。

5．5 設(shè)備及工器具

5．5．1 潔凈室(區(qū))內(nèi)應(yīng)采用具有防塵、防污染的生產(chǎn)設(shè)備和輔助生產(chǎn)設(shè)備，并應(yīng)符合下列要求：
      1 表面應(yīng)光潔、易清潔、不積塵、不揮發(fā)化學(xué)物質(zhì)；
      2 設(shè)備的傳動部件等應(yīng)密封性能好，并應(yīng)防止?jié)櫥?、冷卻劑等的泄漏；
      3 對生產(chǎn)中發(fā)塵、排熱量大或排出有毒、可燃?xì)怏w的設(shè)備，應(yīng)采取防擴散措施；
      4 設(shè)備的金屬外殼應(yīng)設(shè)置接地設(shè)施。

5．5．2 當(dāng)設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))時，宜采取密封隔斷措施。

5．5．3 潔凈室(區(qū))內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品。當(dāng)所選設(shè)備超過潔凈室噪聲容許值時，應(yīng)采取隔聲措施。

5．5．4 潔凈室(區(qū))應(yīng)設(shè)置對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進(jìn)行凈化處理的設(shè)施。

5．5．5 潔凈室(區(qū))內(nèi)，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和傳送，宜采用專用容器。用于存放和傳送的專用容器，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 制作材料應(yīng)光潔、不吸濕、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電，并在空氣中不應(yīng)被氧化；
      2 應(yīng)密封性能好；
      3 當(dāng)存放物有嚴(yán)格的潔凈度要求時，宜充填高純度或干燥氮氣；
      4 構(gòu)造、外形應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求，并應(yīng)方便操作和運送。

5．5．6 潔凈室(區(qū))內(nèi)設(shè)置真空泵時，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 使用油潤滑的真空泵應(yīng)設(shè)置除油裝置，除油后尾氣應(yīng)排入排氣系統(tǒng)；
      2 對傳輸含有可燃?xì)怏w的真空泵，可燃?xì)怏w濃度超過爆炸下限的20％時，應(yīng)設(shè)尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應(yīng)去除或稀釋可燃?xì)怏w組分；
      3 傳輸易燃、自燃化學(xué)品或高濃度氧氣的真空泵，應(yīng)采用不燃泵油，并應(yīng)配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應(yīng)與生產(chǎn)工藝設(shè)備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。

6 潔凈建筑設(shè)計

6．1 一般規(guī)定

6．1．1 潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品發(fā)展以及生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)規(guī)模的要求確定。

6．1．2 潔凈廠房的主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不應(yīng)采用內(nèi)墻承重體系。

6．1．3 潔凈廠房的立面設(shè)計應(yīng)簡潔、明快，并應(yīng)適應(yīng)潔凈室(區(qū))的布置要求。潔凈廠房圍護結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)滿足保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵、易清潔等要求。

6．1．4 潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)線設(shè)備、生產(chǎn)環(huán)境控制設(shè)施協(xié)調(diào)，并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。

6．1．5 設(shè)有上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層的潔凈廠房的建筑平面、空間布局和構(gòu)造，應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、自動化運輸和公用動力設(shè)施安裝和維修的要求。

6．1．6 設(shè)有技術(shù)夾層、技術(shù)夾道的潔凈廠房，技術(shù)夾層、技術(shù)夾道的建筑設(shè)計應(yīng)滿足各種風(fēng)管和各種動力管線安裝和維修的要求。穿越樓層的豎向管線需暗敷時，宜設(shè)置技術(shù)豎井。技術(shù)豎井的形式、尺寸和構(gòu)造應(yīng)滿足風(fēng)管、管線的安裝、檢修和防火要求。

6．1．7 對兼有一般生產(chǎn)區(qū)和潔凈室(區(qū))的綜合性廠房，廠房的平面布局和構(gòu)造處理，宜避免人流、物流運輸及防火方面對潔凈生產(chǎn)環(huán)境帶來不利影響。

6．1．8 潔凈廠房內(nèi)的通道寬度應(yīng)滿足人員操作、物料運輸、設(shè)備安裝和檢修的要求。

6．2 防火和疏散

6．2．1 潔凈廠房的耐火等級不應(yīng)低于二級。
6．2．2 潔凈廠房內(nèi)生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險性，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定?；馂?zāi)危險性分類舉例見本規(guī)范附錄B。

6．2．3 潔凈廠房內(nèi)防火分區(qū)的劃分，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。
丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房的潔凈室(區(qū))，在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備設(shè)有火災(zāi)報警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0.01％obs／m的高靈敏度早期火災(zāi)報警探測系統(tǒng)后，其每個防火分區(qū)的最大允許建筑面積可按生產(chǎn)工藝要求確定。

6．2．4 潔凈室的上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層和潔凈生產(chǎn)層，當(dāng)按其構(gòu)造特點和用途作為同一防火分區(qū)時，上下技術(shù)夾層的面積可不計入防火分區(qū)的建筑面積，但應(yīng)分別采取相應(yīng)的消防措施。

6．2．5 潔凈室的頂棚和墻板、技術(shù)豎井井壁的材質(zhì)選擇，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

6．2．6 在綜合性廠房的一個防火分區(qū)內(nèi)，潔凈生產(chǎn)區(qū)域與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應(yīng)設(shè)置不燃燒體隔斷設(shè)施。不燃燒體隔斷設(shè)施應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。
6．2．7 潔凈廠房的安全出口的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 每一生產(chǎn)層、每個防火分區(qū)或每一潔凈室的安全出口數(shù)目，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定；
      2 安全出口應(yīng)分散布置，并應(yīng)設(shè)有明顯的疏散標(biāo)志；安全疏散距離應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。安全疏散用門應(yīng)向疏散方向開啟，并應(yīng)設(shè)觀察玻璃窗；
      3 丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房，在關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備自帶火災(zāi)報警和滅火裝置以及回風(fēng)氣流中設(shè)有靈敏度嚴(yán)于0．01％obs／m的高靈敏度早期火災(zāi)報警探測系統(tǒng)后，安全疏散距離可按工藝需要確定，但不得大于本條第2款規(guī)定的安全疏散距離的1．5倍。
      注 對于玻璃基板尺寸大于1500m×1850mm的TFT-LCD廠房，且潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于0．02人／㎡，其疏散距離應(yīng)按工藝需要確定，但不得大于120m。

6．2．8 潔凈廠房的潔凈區(qū)各層外墻應(yīng)設(shè)置專用消防口，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 潔凈區(qū)各層專用消防口的設(shè)計，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定；
      2 潔凈廠房外墻上的吊門、電控自動門以及裝有柵欄的窗，均不應(yīng)作為專用消防口。
6．2．9 潔凈廠房內(nèi)有爆炸危險的房間應(yīng)靠建筑外墻布置，且不得與疏散安全口(樓梯間)貼鄰。有爆炸危險的房間的防爆措施、泄爆面積等應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

6．3 室內(nèi)裝修

6．3．1 潔凈廠房的建筑圍護結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計防火規(guī)范》GB50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級不應(yīng)大于50，材料的煙密度等級應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗方法》GB／T8627的有關(guān)規(guī)定。
6．3．2 潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列要求；
      1 應(yīng)滿足使用功能的要求，且表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于清潔，并應(yīng)減少凹凸面；
      2 當(dāng)采用踢腳時，踢腳不宜突出墻面。

6．3．3 潔凈室樓地面設(shè)計應(yīng)符合下列要求
      1 應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和設(shè)備安裝要求；
      2 應(yīng)平整、耐磨、易清潔、不易積聚靜電、避免眩光、不開裂、耐撞擊等；
      3 地面宜配筋，并應(yīng)做防潮構(gòu)造。

6．3．4 潔凈廠房技術(shù)夾層的墻壁和頂柵應(yīng)滿足使用功能要求，且表面應(yīng)平整、光滑。位于地下的技術(shù)層或技術(shù)夾層應(yīng)采取防水或防潮、防霉措施。

6．3．5 當(dāng)潔凈廠房設(shè)置外窗時，應(yīng)采用雙層固定窗，并應(yīng)有良好的氣密性，同時應(yīng)采取防結(jié)露措施。

6．3．6 潔凈室(區(qū))門窗、墻壁、頂棚、地面、樓面的設(shè)計應(yīng)符合下列要求：
      1 應(yīng)滿足使用功能的要求，構(gòu)造和施工縫隙應(yīng)采取密閉措施；
      2 頂棚以上的技術(shù)層或技術(shù)夾層宜設(shè)檢修通道；
      3 潔凈室(區(qū))不宜設(shè)窗臺；
4 當(dāng)?shù)孛娌捎没顒拥匕鍟r，活動地板材質(zhì)和支撐方式應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇。

6．3．7 用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室(區(qū))的墻板和頂棚，宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。

7 空氣凈化和空調(diào)通風(fēng)設(shè)計

7．1 一般規(guī)定

7．1．1 潔凈廠房內(nèi)各潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點和潔凈室型式確定。

7．1．2 氣流流型應(yīng)根據(jù)各潔凈室(區(qū))空氣潔凈度等級和電子產(chǎn)品工藝特點的不同要求選用。

7．1．3 有下列情況之一者，凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置：

      1 運行班次或使用時間不同；

      2 生產(chǎn)過程中散發(fā)的物質(zhì)對其他工序、設(shè)備交叉污染，對產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康、安全有影響；

      3 對溫、濕度控制要求差別大；

      4 潔凈室(區(qū))內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱相差懸殊；

      5 凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)；

      6 系統(tǒng)風(fēng)量過大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。

7．1．4 潔凈室(區(qū))內(nèi)的溫度、相對濕度應(yīng)符合本規(guī)范第3．2．3條的規(guī)定。

7．1．5 潔凈室(區(qū))內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

7．1．6 潔凈室(區(qū))與周圍的空間應(yīng)保持一定的靜壓差，靜壓差應(yīng)符合下列規(guī)定：

      1 各潔凈室(區(qū))與周圍空間的靜壓差應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求確定；

      2 不同等級的潔凈室(區(qū))之間的靜壓差應(yīng)大于等于5Pa；

      3 潔凈室(區(qū))與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差應(yīng)大于5Pa；

      4 潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差應(yīng)大于10Pa。

7．1．7 潔凈室(區(qū))維持靜壓差值所需的壓差風(fēng)量，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。

7．1．8 送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉聯(lián)鎖、控制要求，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

7．1．9 非連續(xù)運行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng)，并應(yīng)進(jìn)行凈化處理。

7．1．10 潔凈室(區(qū))的清掃方式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級等因素確定。潔凈室(區(qū))宜采用移動式高效真空吸塵器。對于空氣潔凈度等級為1～5級的潔凈室宜設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)，潔凈室內(nèi)的吸塵系統(tǒng)管道應(yīng)暗敷。

7．2 氣流流型和送風(fēng)量

7．2．1 氣流流型的設(shè)計，應(yīng)符合下列要求：
      1 氣流流型應(yīng)滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級的要求?？諝鉂崈舳鹊燃墳?～5級時，應(yīng)采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級為6～9級時，宜采用非單向流；
      2 潔凈室工作區(qū)的氣流流速應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和工作人員健康的要求。

7．2．2 潔凈室的送風(fēng)量，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

7．2．3 潔凈室(區(qū))所需的滿足空氣潔凈度等級的潔凈送風(fēng)量和氣流流型，宜按表7．2．3計算。

7．3 凈化空調(diào)系統(tǒng)

7．3．1 潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)可分為集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)和分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)。
凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點確定。潔凈室(區(qū))面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)，

7．3．2 潔凈廠房的潔凈室(區(qū))送風(fēng)方式可分為集中送風(fēng)、隧道送風(fēng)、風(fēng)機過濾器機組送風(fēng)等。應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))使用功能和降低能量消耗的要求，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較，采用運行經(jīng)濟、節(jié)約能源的送風(fēng)方式。

7．3．3 凈化空調(diào)系統(tǒng)新風(fēng)的室外吸入口位置，應(yīng)遠(yuǎn)離本建筑或其他建筑物排放有害物質(zhì)或可燃物的排氣口。

7．3．4 多套凈化空調(diào)系統(tǒng)同時運行或較大型電子工業(yè)潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)，應(yīng)集中處理。

7．3．5 凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)合理利用回風(fēng)，但下列情況不得回風(fēng)：
      1 在生產(chǎn)過程中向車間內(nèi)散發(fā)的有害物質(zhì)超過規(guī)定時；
      2 采用局部處理不能滿足衛(wèi)生要求時；
      3 對其他工序有危害或不能避免交叉污染時。

7．3．6 凈化空調(diào)系統(tǒng)需設(shè)置電加熱時，應(yīng)選用不產(chǎn)塵的電加熱器，且應(yīng)布置在高效過濾器的上風(fēng)側(cè)，并應(yīng)采取安全保護措施。

7．3．7 凈化空調(diào)系統(tǒng)的電加濕器應(yīng)采取安全保護措施。

7．3．8 根據(jù)氣象條件，存在冷凍可能的地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)采取防凍保護措施。

7．4 空氣凈化設(shè)備

7．4．1 空氣過濾器的選用和布置應(yīng)符合下列要求：
      1 空氣過濾器應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級選用；
      2 空氣過濾器的處理風(fēng)量應(yīng)小于或等于額定風(fēng)量；
      3 中效(高中效)空氣過濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)箱的正壓段；
      4 高效(亞高效)空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端；超高效空氣過濾器應(yīng)設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端；
      5 同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應(yīng)相近；
      6 同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的使用風(fēng)量與額定風(fēng)量之比值宜相近；
      7 對化學(xué)污染物有控制要求的潔凈室(區(qū))，在凈化空調(diào)系統(tǒng)中應(yīng)根據(jù)環(huán)境條件設(shè)置化學(xué)過濾器或其他去除裝置；
      8 高效(亞高效、超高效)空氣過濾器應(yīng)采用不燃或難燃材料制作。

7．4．2 風(fēng)機過濾器機組的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：
      1 應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級和送風(fēng)量選用；
      2 應(yīng)按潔凈室(區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對氣流流型的要求布置；
      3 終阻力時的疊加噪聲及振動應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定；
      4 送風(fēng)量應(yīng)能調(diào)節(jié)；
      5 應(yīng)便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時，外殼強度應(yīng)滿足檢修要求。

7．4．3 層流罩的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：
      1 潔凈室(區(qū))內(nèi)等于或嚴(yán)于5級的局部凈化區(qū)域宜采用層流罩；
      2 層流罩的形式和進(jìn)風(fēng)方式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝或設(shè)備需要選用；
      3 終阻力時的疊加噪聲及振動應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定；
      4 安裝方式不應(yīng)影響生產(chǎn)操作。

7．4．4 微環(huán)境裝置的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：
      1 當(dāng)生產(chǎn)工藝或設(shè)備對空氣潔凈度等級、外擾或溫度、相對濕度有較高要求，且所控區(qū)域不大時，宜采用微環(huán)境裝置；
      2 微環(huán)境裝置宜與生產(chǎn)工藝設(shè)備配套；
      3 在不影響工藝操作的前提下，應(yīng)具有可靠的密閉性，內(nèi)外表面應(yīng)平整、光滑；
      4 圍擋構(gòu)造、材料的選用應(yīng)方便生產(chǎn)操作。

7．4．5 干表冷器的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：
      1 安裝位置、外形尺寸應(yīng)根據(jù)潔凈廠房的平面和空間布置確定；
      2 迎面風(fēng)速、結(jié)構(gòu)形式應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))冷負(fù)荷、風(fēng)機過濾器機組所提供的機外余壓確定；
      3 冷凍水進(jìn)水溫度，宜高于潔凈室(區(qū))內(nèi)空氣的露點溫度；
      4 應(yīng)設(shè)置排水設(shè)施。

7．4．6 凈化空調(diào)系統(tǒng)空氣處理機組的選用和布置，應(yīng)符合下列要求：
      1 應(yīng)有良好的氣密性，漏風(fēng)率不得大于1％；
      2 整體結(jié)構(gòu)應(yīng)有足夠的強度和剛度，內(nèi)表面應(yīng)平整、光滑，外表面不應(yīng)結(jié)露；
      3 布置應(yīng)整齊，并應(yīng)便于運行和維修；當(dāng)多套空氣處理機組為同一潔凈室(區(qū))服務(wù)時，宜選用相同規(guī)格的空氣處理機組；
      4 送風(fēng)機宜采取變頻調(diào)速措施。送風(fēng)機可按凈化空調(diào)系統(tǒng)的總風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選擇。計算系統(tǒng)總阻力時，中效(高中效)、高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的1．5～2．0倍取值；
      5 應(yīng)設(shè)置排水裝置。

7．5 采暖、通風(fēng)

7．5．1 空氣潔凈度等級嚴(yán)于8級的潔凈室(區(qū))不應(yīng)采用散熱器采暖。

7．5．2 潔凈廠房內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備和輔助設(shè)備，應(yīng)設(shè)置局部排風(fēng)裝置，排風(fēng)罩宜為密閉式。局部排風(fēng)系統(tǒng)單獨設(shè)置的要求，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

7．5．3 潔凈室(區(qū))的排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計，應(yīng)符合下列要求：
      1)應(yīng)防止室外氣流倒灌；
      2)含有易燃、易爆物質(zhì)的局部排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)按其物理化學(xué)性質(zhì)采取相應(yīng)防火防爆措施；
      3)局部排風(fēng)系統(tǒng)排出的有害氣體，當(dāng)其有害物質(zhì)濃度超過排放標(biāo)準(zhǔn)時，應(yīng)采取有效處理措施。排氣管高度和排放速率應(yīng)滿足國家現(xiàn)行有關(guān)排放標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定；
      4)對含有水蒸氣或凝結(jié)物質(zhì)的排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置坡度及排放口；
      5)排風(fēng)介質(zhì)中含有劇毒物質(zhì)時，應(yīng)設(shè)置備用排風(fēng)機和處理設(shè)備，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源；
      6)排風(fēng)介質(zhì)中含易燃、易爆等危險物質(zhì)或工藝可靠性要求較高時，應(yīng)設(shè)置備用排風(fēng)機，并應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源；
      7)排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統(tǒng)，其風(fēng)量應(yīng)按在正常運行和事故情況下，風(fēng)管內(nèi)爆炸危險氣體和粉塵的濃度不大于爆炸下限的20％計；
      8)排除有爆炸危險氣體和粉塵的局部排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置消除靜電的接地裝置。
7．5．4 對排風(fēng)系統(tǒng)中含有毒性、爆炸危險性物質(zhì)的排氣管路，應(yīng)保持相對于路由區(qū)域一定的負(fù)壓值。

7．5．5 凈鞋室、更外衣室、盥洗室和廁所等生產(chǎn)輔助房間，應(yīng)采取通風(fēng)措施。

7．5．6 潔凈室(區(qū))事故排風(fēng)系統(tǒng)的設(shè)計，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 事故排風(fēng)區(qū)域的換氣次數(shù)不應(yīng)小于12次／h；
      2 應(yīng)設(shè)置自動和手動控制開關(guān)，手動控制開關(guān)應(yīng)分別設(shè)置在潔凈室(區(qū))和潔凈室(區(qū))外便于操作的地點；
      3 應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源。

7．6 排 煙

7．6．1 潔凈廠房中的疏散走廊，應(yīng)設(shè)置機械排煙設(shè)施。

7．6．2 潔凈廠房排煙設(shè)施的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。當(dāng)同一防火分區(qū)的丙類潔凈室(區(qū))人員密度小于0.02人／㎡，且安全疏散距離小于80m時，潔凈室(區(qū))可不設(shè)機械排煙設(shè)施。

7．6．3 機械排煙系統(tǒng)宜與通風(fēng)、凈化空調(diào)系統(tǒng)分開設(shè)置；當(dāng)合用時，應(yīng)采取防火安全措施，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

7．6．4 機械排煙系統(tǒng)的風(fēng)量、排煙口位置、風(fēng)機的設(shè)置，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

7．7 風(fēng)管、附件

7．7．1 凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風(fēng)吸入管應(yīng)設(shè)置防倒灌裝置；送、回風(fēng)管宜設(shè)置調(diào)節(jié)閥。

7．7．2 凈化空調(diào)系統(tǒng)風(fēng)管的防火閥的設(shè)置，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。
含有可燃、有毒氣體或化學(xué)品的排風(fēng)管道，不得設(shè)置熔片式防火閥。

7．7．3 凈化空調(diào)系統(tǒng)的風(fēng)管、配件、過濾器以及密封材料等，應(yīng)根據(jù)輸送空氣的潔凈度要求確定，并不得采用釋放對電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料。

7．7．4 潔凈室(區(qū))內(nèi)排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管、閥門、附件的制作材料和涂料，應(yīng)根據(jù)排除氣體的物理化學(xué)性質(zhì)及其所處的空氣環(huán)境條件確定，并不得與所輸送介質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)或引起安全事故的發(fā)生。

7．7．5 凈化空調(diào)系統(tǒng)的送、回風(fēng)總管上，應(yīng)采取消聲措施，并應(yīng)滿足潔凈室(區(qū))內(nèi)噪聲控制的要求。潔凈室(區(qū))排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)采取消聲措施，并應(yīng)滿足室內(nèi)外噪聲標(biāo)準(zhǔn)的要求。

7．7．6 在集中設(shè)置的空氣過濾器的前后，應(yīng)設(shè)置測壓孔或指針式壓差計。在新風(fēng)管、送風(fēng)、回風(fēng)總管段上，應(yīng)設(shè)置風(fēng)量測定孔。

7．7．7 風(fēng)管附件及輔助材料的防火性能，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 凈化空調(diào)系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作，但接觸腐蝕性介質(zhì)的風(fēng)管和柔性接頭可采用難燃防腐材料制作；
      2 排煙系統(tǒng)的風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作；
      3 附件、保溫材料和消聲材料等均應(yīng)采用不燃材料或難燃材料。

8 給水排水設(shè)計

8．1 一般規(guī)定

8．1．1 潔凈廠房的給水排水干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，并宜敷設(shè)在通行的技術(shù)夾層內(nèi)。條件合適時，也可埋地敷設(shè)。潔凈室(區(qū))內(nèi)管道宜暗裝，與本房間無關(guān)的管道不應(yīng)穿過。

8．1．2 穿過潔凈室的水管道，應(yīng)根據(jù)管內(nèi)水溫和所在房間的溫度、濕度確定隔熱防結(jié)露措施。當(dāng)采取隔熱防結(jié)露措施時，其外表面應(yīng)光滑、平整。

8．1．3 給水排水管道穿過潔凈室(區(qū))墻壁、樓板和頂棚時應(yīng)設(shè)置套管，管道和套管之間應(yīng)采取密封措施。

8．2 給 水

8．2．1 潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各種用途(包括工藝?yán)鋮s水)對水質(zhì)、水溫、水壓、水量的要求確定，宜按生產(chǎn)、生活、消防分別設(shè)置獨立的給水系統(tǒng)。

8．2．2 當(dāng)設(shè)有危險化學(xué)品儲存和分配室時，應(yīng)根據(jù)化學(xué)品的物理化學(xué)性能和人身安全的要求，設(shè)置緊急淋浴器和洗眼器，其給水管道應(yīng)環(huán)形敷設(shè)布置。

8．2．3 給水管道的管材及附件的選擇，應(yīng)符合下列要求：
      1 給水系統(tǒng)的管材和附件的選用，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝和系統(tǒng)工作參數(shù)的要求；
      2 埋地管道應(yīng)耐腐蝕，并應(yīng)具有承受相應(yīng)地面荷載的能力；
      3 生產(chǎn)設(shè)備循環(huán)冷卻水給水和回水管道，應(yīng)按生產(chǎn)工藝和水質(zhì)要求，采用不銹鋼管、鋼塑管、塑料管等，不宜采用焊接鋼管；
      4 閥門及附件應(yīng)采用與管材相同的材質(zhì)。

8．3 排 水

8．3．1 生產(chǎn)、生活排水系統(tǒng)應(yīng)分別設(shè)置。生產(chǎn)排水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備排出的廢水性質(zhì)、污染物濃度和水量等特點確定。有害廢水應(yīng)經(jīng)廢水處理達(dá)到國家或地方排放標(biāo)準(zhǔn)后排放。

8．3．2 潔凈室(區(qū))內(nèi)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備相連接的重力排水管道，應(yīng)在排出口以下部位設(shè)置水封裝置。排水系統(tǒng)應(yīng)有完善的通氣系統(tǒng)。

8．3．3 潔凈室(區(qū))內(nèi)地漏等排水設(shè)施的設(shè)置，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

8．3．4 潔凈廠房內(nèi)宜采用不易積存污物、易于清洗的衛(wèi)生設(shè)備。

8．4 雨 水

8．4．1 屋面雨水排水系統(tǒng)應(yīng)確保能迅速、及時地將屋面雨水排至室外雨水管渠或室外。

8．4．2 屋面雨水排水管道的排水設(shè)計重現(xiàn)期不宜小于10年。

8．4．3 屋面雨水排水工程應(yīng)設(shè)置溢流口、溢流堰、溢流管系等溢流設(shè)施。屋面雨水排水工程與溢流設(shè)施的總排水能力不應(yīng)小于50年重現(xiàn)期的雨水量。

8．4．4 雨水斗的位置應(yīng)確保雨水斗連接管和懸吊管不穿過潔凈室(區(qū))。

8．5 消防給水和滅火設(shè)備

8．5．1 潔凈廠房必須設(shè)置消防給水系統(tǒng)。消防給水系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

8．5．2 潔凈廠房消火栓的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定
      1 潔凈室(區(qū))的生產(chǎn)層及上下技術(shù)夾層(不含不通行的技術(shù)夾層)，應(yīng)設(shè)置室內(nèi)消火栓；
      2 室內(nèi)消火栓的用水量不應(yīng)小于10L／s，同時使用水槍數(shù)不應(yīng)少于2支，水槍充實水柱不應(yīng)小于10m，每只水槍的出水量不應(yīng)小于5L／s；
      3 潔凈廠房室外消火栓的用水量不應(yīng)小于15L／s。

8．5．3 潔凈室(區(qū))設(shè)置的固定滅火設(shè)施，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1)設(shè)置的自動噴水滅火系統(tǒng)，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《自動噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50084的有關(guān)規(guī)定。噴水強度不應(yīng)小于8L／min·㎡，作用面積不應(yīng)小于160㎡；
      2)設(shè)置的氣體滅火系統(tǒng)，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《氣體滅火系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50370和《二氧化碳滅火系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB50193的有關(guān)規(guī)定，
      3)存放可燃?xì)怏w鋼瓶的特氣柜中應(yīng)設(shè)置自動滅火設(shè)施。
8．5．4 潔凈廠房內(nèi)各場所應(yīng)配置滅火器，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑滅火器配置設(shè)計規(guī)范》GB 50140的有關(guān)規(guī)定。

9 純水供應(yīng)

9．1 一般規(guī)定

9．1．1 電子產(chǎn)品生產(chǎn)用純水系統(tǒng)的選擇，應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對水質(zhì)的要求，并結(jié)合系統(tǒng)規(guī)模、材料及設(shè)備供應(yīng)等情況，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較確定。

9．1．2 純水的輸送干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)；潔凈室(區(qū))內(nèi)的純水支管宜暗裝。

9．1．3 穿越潔凈室(區(qū))墻壁、樓板、頂棚的純水管道應(yīng)設(shè)套管，套管與管道之間應(yīng)采取密封措施。

9．1．4 潔凈室(區(qū))內(nèi)純水管道的保溫材料，不得產(chǎn)生污染物，外表面應(yīng)平整、光滑、易于清潔。

9．2 純水系統(tǒng)

9．2．1 純水系統(tǒng)的設(shè)備配置除應(yīng)滿足所需水量和水質(zhì)的要求外，還應(yīng)滿足運行靈活、安全可靠、便于操作管理、運行費用低等要求。

9．2．2 純水的制備、儲存和輸送設(shè)備，應(yīng)符合電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 純水的制備、終端處理設(shè)備的選型和制造材料的選擇，應(yīng)滿足供水水質(zhì)、終端水質(zhì)的要求；
      2 純水儲罐、輸送設(shè)備的選型和制造材料的選擇，應(yīng)確保水質(zhì)污染少、密封性好，不得有滲氣現(xiàn)象；
      3 純水制備、儲存、輸送設(shè)備應(yīng)有效地防止水質(zhì)降低。

9．2．3 純水系統(tǒng)應(yīng)采用循環(huán)供水方式，宜采用單管式循環(huán)供水系統(tǒng)或設(shè)有獨立回水管的雙管式循環(huán)供水系統(tǒng)，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 循環(huán)回流水量應(yīng)大于設(shè)計供水量的30％；
      2 干管流速應(yīng)大于等于1．5m／s；
      3 不循環(huán)支管的長度不應(yīng)大于管徑的6倍；
      4 干管應(yīng)設(shè)置清洗口；
      5 管道系統(tǒng)必須密封，不得有滲氣現(xiàn)象；
      6 應(yīng)配備在線水質(zhì)檢測儀表；
      7 對純水水質(zhì)要求嚴(yán)格的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝，應(yīng)采用雙管式循環(huán)供水系統(tǒng)。

9．2．4 純水系統(tǒng)中與純水直接接觸的設(shè)備表面應(yīng)光潔、平整、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、耐腐蝕、易清洗、易消毒。

9．2．5 用于純水系統(tǒng)的水質(zhì)檢測設(shè)備、量具、儀表，其連接不應(yīng)使純水水質(zhì)降低，其檢測范圍和精度應(yīng)符合純水生產(chǎn)和檢驗的要求。

9．2．6 純水精處理或終端處理裝置宜靠近用水生產(chǎn)設(shè)備設(shè)置。

9．3 管材、閥門和附件

9．3．1 純水系統(tǒng)管道材質(zhì)的選用，應(yīng)符合下列要求：
      1 應(yīng)滿足純水水質(zhì)指標(biāo)的要求；
      2 材料的化學(xué)穩(wěn)定性應(yīng)好；
      3 管道內(nèi)壁光潔度應(yīng)好；
      4 不得有滲氣現(xiàn)象。

9．3．2 純水管道的閥門和附件的選用應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 應(yīng)選擇與管道相同的材質(zhì)；
      2 應(yīng)選用密封好、結(jié)構(gòu)合理、無滲氣現(xiàn)象的閥門；
      3 對純水的水質(zhì)要求嚴(yán)格的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝用純水系統(tǒng)，應(yīng)采用隔膜閥。

10 氣體供應(yīng)

10．1 一般規(guī)定

10．1．1 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的需求使用各種不同類型的特種氣體、常用氣體、干燥壓縮空氣，其氣體品質(zhì)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。

10．1．2 常用氣體的供氣方式和供氣系統(tǒng)，應(yīng)根據(jù)氣體用量、氣體品質(zhì)和當(dāng)?shù)氐墓鉅顩r等因素，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定。

10．1．3 潔凈廠房常用氣體、特種氣體的制備、儲存、分配系統(tǒng)，除應(yīng)符合本規(guī)范外，還應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016、《氫氣站設(shè)計規(guī)范》GB 50177和《氧氣站設(shè)計規(guī)范》GB 50030等的有關(guān)規(guī)定。

10．1．4 潔凈廠房內(nèi)的氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。當(dāng)與水、電管線共架時，比空氣重的氣體管道宜設(shè)在水、電管線下部，比空氣輕的氣體管道宜設(shè)在水、電管線上部。

10．1．5 潔凈室(區(qū))內(nèi)的可燃?xì)怏w管道和有毒氣體管道應(yīng)明敷，穿過潔凈室(區(qū))的墻壁或樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應(yīng)采取密封措施。

10．1．6 可燃?xì)怏w管道和有毒氣體管道不得穿過不使用此類氣體的房間；當(dāng)必須穿過時應(yīng)設(shè)套管或雙層管。

10．1．7 高純氣體管道設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 管徑應(yīng)按氣體容許流量、壓力或生產(chǎn)工藝設(shè)備確定，管外徑不宜小于6mm，壁厚不宜小于1mm，
      2 不得出現(xiàn)不易吹除的“盲管”等死空間，
      3 管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置吹掃口和取樣口。

10．1．8 潔凈廠房的可燃?xì)怏w管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列安全設(shè)施：
      1）可燃?xì)怏w管道設(shè)置閥門時應(yīng)設(shè)置閥門箱，閥門箱應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報警和事故排風(fēng)裝置，報警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機聯(lián)鎖；
      2）接至用氣設(shè)備的支管和放散管，宜設(shè)置阻火設(shè)施；
      3）引至室外的放散管，應(yīng)設(shè)置防雷保護設(shè)施，
      4）應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。
10．1．9 氣體過濾器應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體潔凈度的要求進(jìn)行選擇和配置。終端氣體過濾器應(yīng)設(shè)置在靠近用氣點處。

10．2 常用氣體系統(tǒng)

10．2．1 常用氣體供應(yīng)系統(tǒng)宜在工廠內(nèi)或鄰近處設(shè)置制氣裝置或采用外購液態(tài)氣體、瓶裝氣體。

10．2．2 氫氣、氧氣管道的終端或最高點應(yīng)設(shè)置放散管。氫氣放散管口應(yīng)設(shè)置阻火器。放散管引至室外，應(yīng)高出本建筑的屋脊1m，并應(yīng)采取防雨、防雜物侵入的措施。

10．2．3 氣體純化裝置的設(shè)置，應(yīng)符合下列要求：
      1 氣體純化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體純度、容許雜質(zhì)含量要求選擇；
      2 氣體純化裝置宜設(shè)置在氣體純化間(站)內(nèi)。當(dāng)潔凈廠房設(shè)有氣體入口室時，氣體純化間宜與氣體入口室合建；
      3 各類氣體純化裝置宜設(shè)置在同一氣體純化間(站)內(nèi)。若有特殊要求時，也可根據(jù)具體要求分別設(shè)置在各自的氣體純化間內(nèi)；
      4 氣體終端純化裝置宜設(shè)置在鄰近用氣點處。

10．2．4 進(jìn)入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過濾器、調(diào)壓裝置、壓力表、流量計、在線分析儀等，宜集中設(shè)置在氣體入口室。

10．2．5 氣體純化間(站)或氣體入口室內(nèi)，設(shè)有氫氣等可燃?xì)怏w純化裝置或管道時，氣體純化間(站)或氣體入口室的火災(zāi)危險性應(yīng)按甲類確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 應(yīng)靠外墻設(shè)置，并應(yīng)設(shè)置防爆泄壓設(shè)施；
      2 氫氣等可燃?xì)怏w引入管道上應(yīng)設(shè)置自動切斷閥；
      3 應(yīng)具有良好的自然通風(fēng)，并應(yīng)設(shè)置事故排風(fēng)裝置；
      4 應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報警裝置，并應(yīng)與事故排風(fēng)裝置聯(lián)鎖；
      5 應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。

10．2．6 潔凈廠房內(nèi)的氧氣管道等，應(yīng)采取下列安全技術(shù)措施：
      1 管道及閥門、附件應(yīng)經(jīng)嚴(yán)格的脫脂處理；
      2 應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施；
      3 氧氣引入管道上應(yīng)設(shè)置自動切斷閥。

10．2．7 各種常用氣體的氣瓶庫應(yīng)集中設(shè)置在潔凈廠房外。當(dāng)日用氣量不超過1瓶時，氣瓶可設(shè)置在潔凈室(區(qū))內(nèi)，但應(yīng)采取不積塵和易于清潔的措施。

10．2．8 氣體管道和閥門應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇，宜符合下列規(guī)定：
      1 氣體純度大于或等于99.999999％時，應(yīng)采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管，閥門應(yīng)采用隔膜閥；
      2 氣體純度大于或等于99．999％、露點低于-76℃時，宜采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管或內(nèi)壁電拋光的不銹鋼管，閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥；
      3 氣體純度大于或等于99．99％、露點低于-60℃時，宜采用內(nèi)壁拋光的不銹鋼管，除可燃?xì)怏w管道宜采用波紋管閥外，其余氣體管道宜采用球閥；
      4 氣體管道閥門、附件的材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)一致。

10．2．9 氣體管道連接，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 管道連接應(yīng)采用焊接，
      2 不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊，宜采用自動氬弧焊或等離子熔融對接焊；
      3 管道與設(shè)備或閥門的連接，宜采用表面密封的接頭或雙卡套，接頭或雙卡套的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊；
      4 管道與設(shè)備的連接應(yīng)符合設(shè)備連接的要求。當(dāng)采用軟管連接時，宜采用金屬軟管。

10．3 干燥壓縮空氣系統(tǒng)

10．3．1 潔凈廠房內(nèi)的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質(zhì)等因素確定，并應(yīng)符合下列規(guī)定，
      1 供氣規(guī)模應(yīng)按產(chǎn)品生產(chǎn)所需供氣量和計入必要損耗量確定，并應(yīng)設(shè)有一定的備用供氣量；
      2 供氣品質(zhì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定；
      3 供氣系統(tǒng)可集中設(shè)置在潔凈廠房內(nèi)的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站；
      4 應(yīng)選用能耗少、噪聲低的設(shè)備，宜選用無油潤滑空氣壓縮機；
      5 含水量要求嚴(yán)格時，宜選用加熱再生吸附干燥裝置。

10．3．2 干燥壓縮空氣管道內(nèi)輸送露點低于-76℃時，應(yīng)采用內(nèi)壁電拋光低碳不銹鋼管或內(nèi)壁電拋光不銹鋼管；露點低于-40℃時，宜采用不銹鋼管或熱鍍鋅無縫鋼管。閥門宜采用波紋管閥或球閥。

10．3．3 管道連接應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 宜采用焊接，不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊；
      2 含水量露點嚴(yán)于-40℃時，用于管道連接的密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊；
      3 當(dāng)采用軟管連接時，宜采用金屬軟管。

10．4 特種氣體系統(tǒng)

10．4．1 特種氣體應(yīng)采用外購鋼瓶氣體、液態(tài)氣體供應(yīng)，在電子工廠內(nèi)應(yīng)設(shè)置儲存、分配系統(tǒng)。

10．4．2 潔凈廠房內(nèi)特種氣體的儲存分配間應(yīng)采用耐火極限不低于2．0h不燃燒體的隔墻與潔凈室(區(qū))分隔，隔墻上的門窗應(yīng)為甲級防火門窗。

10．4．3 潔凈室(區(qū))內(nèi)可燃或有毒的特種氣體分配系統(tǒng)的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 特種氣體鋼瓶(含硅烷或硅烷混合物)應(yīng)設(shè)置在具有連續(xù)機械排風(fēng)的特氣柜中；
      2 排風(fēng)機、泄漏報警、自動切斷閥均應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源；
      3 一個特氣分配系統(tǒng)供多臺生產(chǎn)設(shè)備使用時，應(yīng)設(shè)置多路閥門箱；
      4 可燃性、氧化性特種氣體管道的設(shè)置應(yīng)符合本規(guī)范第10．1和10．2節(jié)的有關(guān)規(guī)定。

10．4．4 特種氣體分配系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置吹掃盤，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 應(yīng)設(shè)置應(yīng)急切斷裝置；
      2 應(yīng)設(shè)置過流量控制裝置，
      3 應(yīng)設(shè)置手動隔離閥；
      4 吹掃氣源不宜采用常用氣體系統(tǒng)；
      5 不相容特種氣體的吹掃盤不得共用吹掃氣瓶。

10．4．5 硅烷或硅烷混合物的氣瓶應(yīng)存放在潔凈廠房建筑外的儲存區(qū)內(nèi)。儲存區(qū)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 儲存區(qū)應(yīng)至少三面敞開，氣瓶應(yīng)固定在鋼制框架上；
      2 氣瓶或氣瓶組與周圍的構(gòu)筑物或圍欄的間距應(yīng)大于3．0m；
      3 儲存區(qū)頂棚的高度應(yīng)大于3．5m。

11 化學(xué)品供應(yīng)

11．1 一般規(guī)定

11．1．1 潔凈廠房內(nèi)化學(xué)品的儲存、輸送方式，應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和化學(xué)品的品質(zhì)、數(shù)量、物理化學(xué)特性等確定。

11．1．2 潔凈廠房內(nèi)使用的各類化學(xué)品應(yīng)按照各自的物理化學(xué)特性分類和儲存，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《常用危險化學(xué)品的分類及標(biāo)志》GB 13690的有關(guān)規(guī)定。

11．1．3 在潔凈室(區(qū))內(nèi)使用危險化學(xué)品的生產(chǎn)設(shè)備或空間，應(yīng)采取相應(yīng)的安全保護措施。

11．2 化學(xué)品儲存、輸送

11．2．1 潔凈廠房內(nèi)各種化學(xué)品儲存間(區(qū))的設(shè)置，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 化學(xué)品儲存間(區(qū))的儲量不應(yīng)超過該化學(xué)品24h的消耗量；
      2 化學(xué)品應(yīng)按物化特性分類儲存；當(dāng)物化性質(zhì)不容許同庫儲存時，應(yīng)采用實體墻分隔；
      3 危險化學(xué)品應(yīng)儲存在單獨的儲存間或儲存分配間內(nèi)，與相鄰房間應(yīng)采用耐火極限大于1．5h的隔墻分隔；
      4 危險化學(xué)品儲存、分配間宜靠外墻布置；
      5 各類化學(xué)品儲存、分配間應(yīng)設(shè)置機械排風(fēng)。機械排風(fēng)應(yīng)采用應(yīng)急電源；
      6 易爆化學(xué)品儲存、分配間，應(yīng)采用不發(fā)生火花的防靜電地面；
      7 輸送易燃、易爆化學(xué)品的管道，應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施；
      8 接至用戶的輸送易燃、易爆化學(xué)品的總管上，應(yīng)設(shè)置自動和手動切斷閥。

11．2．2 潔凈廠房內(nèi)采用容器傳送危險化學(xué)品時，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 嚴(yán)禁在出入口、疏散走廊儲存和分配危險化學(xué)品。潔凈廠房內(nèi)運送易燃化學(xué)品的走廊應(yīng)設(shè)置自動滅火系統(tǒng)；
      2 運送危險化學(xué)品的推車運載量不得超過250L；單個容器的容量不應(yīng)超過20L；
      3 物理化學(xué)特性不相容的危險化學(xué)品不得采用同一推車運送。

11．2．3 當(dāng)采用壓力罐輸送危險化學(xué)品時，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 輸送系統(tǒng)設(shè)備、管道應(yīng)采用與所輸送的化學(xué)品相容的材質(zhì)；
      2 壓力罐應(yīng)設(shè)置減壓通風(fēng)口，減壓通風(fēng)口的排氣管應(yīng)接至安全區(qū)域；
      3 輸送系統(tǒng)應(yīng)只容許采用氮氣增壓，
      4 在分配和使用處應(yīng)設(shè)置手動切斷閥；
      5 應(yīng)設(shè)置液位監(jiān)控和自動關(guān)閉裝置，并應(yīng)設(shè)置溢流應(yīng)對設(shè)施。

11．2．4 危險化學(xué)品的儲存、分配間應(yīng)設(shè)置排水系統(tǒng)，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 含可燃液體的排水，應(yīng)排入相關(guān)的生產(chǎn)排水管道，不得排入易產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)以及引起火災(zāi)或爆炸的排水管道；
      2 物理化學(xué)特性不相容的化學(xué)品，應(yīng)分別單獨設(shè)置排水系統(tǒng)。

11．2．5 液態(tài)危險化學(xué)品的儲存、分配間，應(yīng)設(shè)置溢出保護設(shè)施，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 儲存罐或罐組應(yīng)設(shè)置保護堤，保護堤堤內(nèi)容積應(yīng)大于最大儲罐的容積或20min消防用水量；保護堤的高度不應(yīng)低于500mm；
      2 化學(xué)品相互接觸引起化學(xué)反應(yīng)的可燃液體儲罐或罐組之間，應(yīng)設(shè)置隔堤，隔堤不得滲漏；管道穿過隔堤時應(yīng)采用不燃材料密封。隔堤高度不應(yīng)低于400mm；
      3 應(yīng)設(shè)置液體泄露報警裝置；
      4 應(yīng)設(shè)置緊急淋浴和洗眼器。

11．3 管材、閥門

11．3．1 化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)管道材質(zhì)的選用，應(yīng)按所輸送化學(xué)品的物理化學(xué)性質(zhì)確定，并應(yīng)選擇化學(xué)穩(wěn)定性能良好和相容性好的材料。

11．3．2 輸送腐蝕性化學(xué)品的管道，可直接采用非金屬管材，但應(yīng)設(shè)置保護套管。

11．3．3 化學(xué)品輸送管路系統(tǒng)，對多臺生產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)化學(xué)品時，應(yīng)設(shè)置分配閥箱。

11．3．4 輸送有機溶劑的管道材質(zhì)，宜采用低碳不銹鋼管；輸送酸、堿類管道材質(zhì)，宜采用聚四氟乙烯。用于管道系統(tǒng)的墊片，宜采用氟橡膠或聚四氟乙烯。

11．3．5 用于化學(xué)品管路的閥門材質(zhì)應(yīng)與管道材質(zhì)一致。

12 電氣設(shè)計

12．1 配 電

12．1．1 潔凈廠房的用電負(fù)荷等級和供電要求，應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及設(shè)備要求和現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《供配電系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50052的有關(guān)規(guī)定確定。

12．1．2 潔凈廠房低壓配電電壓等級應(yīng)符合生產(chǎn)工藝設(shè)備用電要求。帶電導(dǎo)體系統(tǒng)的型式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統(tǒng)接地型式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。

12．1．3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)用主要工藝設(shè)備，應(yīng)由專用變壓器或?qū)Ｓ玫蛪吼侂娋€路供電。對電源連續(xù)性有特殊要求的生產(chǎn)設(shè)備、動力設(shè)備，宜設(shè)置不間斷電源或備用發(fā)電裝置等。在潔凈室(區(qū))內(nèi)宜設(shè)置獨立的檢修電源。

12．1．4 潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)(含制冷機)，應(yīng)由變電所專線供電。

12．1．5 潔凈廠房的電源進(jìn)線(不包括消防電源進(jìn)線)應(yīng)設(shè)置手動切斷裝置，手動切斷裝置宜設(shè)置在潔凈室(區(qū))外便于操作管理的場所。

12．1．6 潔凈室(區(qū))內(nèi)的配電設(shè)備，應(yīng)選擇不易積塵、便于擦拭的小型、暗裝設(shè)備，不宜設(shè)置落地安裝的配電設(shè)備。配電設(shè)備宜設(shè)置在下技術(shù)夾層，并應(yīng)在頂部設(shè)擋水設(shè)施。

12．1．7 潔凈廠房的電氣管線宜敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，宜采用低煙、無鹵型電纜，穿線導(dǎo)管應(yīng)采用不燃材料。潔凈生產(chǎn)區(qū)的電氣管線宜暗敷，電氣管線管口及安裝于墻上的各種電器設(shè)備與墻體接縫處應(yīng)采取密封措施。

12．1．8 潔凈廠房內(nèi)，可燃?xì)怏w或液體的儲存、分配間的電氣設(shè)計，應(yīng)根據(jù)可燃?xì)怏w或液體的特性確定，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。

12．2 照 明

12．2．1 潔凈室(區(qū))的主要生產(chǎn)用房間一般照明的照度值宜為300～500lx；輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為200～300 lx。

12．2．2 對照度有特殊要求的電子產(chǎn)品生產(chǎn)部位應(yīng)設(shè)置局部照明，其照度值應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)操作的要求確定。

12．2．3 潔凈廠房備用照明的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 潔凈室(區(qū))內(nèi)應(yīng)設(shè)備用照明；
      2 備用照明宜作為正常照明的一部分，且不應(yīng)低于該場所一般照明照度值的20％；
      3 備用照明的電源宜由變電所專線供電。

12．2．4 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明，其照度不應(yīng)低于5．0lx。在安全出入口、疏散通道或疏散通道轉(zhuǎn)角處應(yīng)設(shè)置疏散標(biāo)志。在專用消防口應(yīng)設(shè)置紅色應(yīng)急照明指示燈。

12．2．5 潔凈室(區(qū))內(nèi)照明光源，宜采用高效熒光燈。對有感光度要求的生產(chǎn)場所，宜采用黃色光源。

12．2．6 潔凈室(區(qū))內(nèi)一般照明燈具的選擇與布置，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 潔凈室(區(qū))內(nèi)宜采用吸頂明裝、不易積塵、便于清潔的潔凈燈具；
      2 空氣潔凈度等級嚴(yán)于或等于5級的潔凈室(區(qū))，宜采用淚珠型燈具；

      3 當(dāng)采用嵌入式燈具時，其安裝縫隙應(yīng)采取密封措施；
      4 潔凈室(區(qū))內(nèi)燈具的布置，不應(yīng)影響氣流流型，并應(yīng)與送風(fēng)口協(xié)調(diào)布置。

12．3 通信與安全保護裝置

12．3．1 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置通信設(shè)施，通信設(shè)施的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：
      1 潔凈室(區(qū))內(nèi)應(yīng)設(shè)置內(nèi)外聯(lián)系的通信設(shè)施。每個工序宜設(shè)置有線語音插座；
      2 潔凈室(區(qū))內(nèi)設(shè)置的無線通信系統(tǒng)，不得對電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備造成干擾；
      3 數(shù)據(jù)通信裝置應(yīng)根據(jù)管理及電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的需要設(shè)置；
      4 通信線路宜采用綜合布線系統(tǒng)，綜合布線系統(tǒng)的配線間不應(yīng)設(shè)在潔凈室(區(qū))內(nèi)。

12．3．2 潔凈廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動報警系統(tǒng)，其防護等級應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定。當(dāng)防火分區(qū)面積超過現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016規(guī)定的最大建筑面積允許值時，保護等級應(yīng)為一級。

12．3．3 潔凈廠房的消防控制室不應(yīng)設(shè)在潔凈室(區(qū))內(nèi)。消防專用電話總機的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范3GB 50116的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)在下列場所設(shè)置消防專用電話：
      1 潔凈室(區(qū))的入口處；
      2 應(yīng)急處理中心；
      3 中央控制室；
      4 特種氣體管理室。

12．3．4 潔凈廠房內(nèi)火災(zāi)探測器的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定．
      1 潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層、機房、站房等均應(yīng)設(shè)置火災(zāi)探測器，其中潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術(shù)夾層應(yīng)設(shè)置智能型探測器；
      2 當(dāng)潔凈廠房防火分區(qū)面積超過現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB 50016的規(guī)定時或頂部安裝點式探測器不能滿足現(xiàn)行規(guī)范設(shè)計要求時，在潔凈室(區(qū))內(nèi)凈化空調(diào)系統(tǒng)混入新風(fēng)前的回風(fēng)氣流中應(yīng)設(shè)置靈敏度嚴(yán)于0．01％obs／m的早期煙霧報警探測器；
      3 硅烷儲存、分配間(區(qū))，應(yīng)設(shè)置紅外線-紫外線火焰探測器；
      4 潔凈生產(chǎn)區(qū)、走道和技術(shù)夾層(不包括不通行的技術(shù)夾層)應(yīng)設(shè)置手動報警按鈕和聲光報警裝置。

12．3．5 潔凈廠房應(yīng)設(shè)置火災(zāi)自動報警及消防聯(lián)動控制?？刂圃O(shè)備的控制及顯示功能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定，潔凈室(區(qū))火災(zāi)報警應(yīng)進(jìn)行核實，當(dāng)確認(rèn)火災(zāi)后，在消防控制室應(yīng)對下列各項進(jìn)行手動控制：
      1 關(guān)閉有關(guān)部位的電動防火閥，停止相應(yīng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)機、排風(fēng)機和新風(fēng)機，并接收其反饋信號；
      2 啟動排煙風(fēng)機，并接收其反饋信號；
      3 在消防控制室或低壓配電室，手動切斷有關(guān)部位的非消防電源。

12．3．6 潔凈廠房內(nèi)下列場所應(yīng)設(shè)置氣體泄漏報警裝置：
      1 易燃、易爆、有毒氣體的儲存分配間(區(qū))；
      2 易燃、易爆、有毒氣體的氣瓶柜和分配閥門箱內(nèi)；
      3 工藝設(shè)備的氣體分配箱和排風(fēng)管內(nèi)。

12．3．7 潔凈廠房內(nèi)氣體報警裝置的聯(lián)動控制，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 應(yīng)自動啟動相應(yīng)的事故排風(fēng)裝置；
      2 應(yīng)自動關(guān)閉相關(guān)部位的進(jìn)氣閥；
      3 應(yīng)自動關(guān)閉相關(guān)部位的電動防火門、防火卷簾門；
4 報警信號應(yīng)發(fā)送至消防控制室和氣體控制室。應(yīng)自動啟動泄漏現(xiàn)場的聲光警報裝置和應(yīng)急廣播。

12．3．8 潔凈廠房內(nèi)易燃、易爆、有毒氣體泄漏報警值應(yīng)為其爆炸下限值或允許濃度值的20％。

12．3．9 潔凈廠房設(shè)置的事故應(yīng)急廣播系統(tǒng)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定。潔凈室(區(qū))內(nèi)應(yīng)采用不影響空氣潔凈度等級的揚聲器。

12．3．10 潔凈廠房內(nèi)的安全保護系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源。

12．3．11 潔凈室(區(qū))火災(zāi)報警、氣體泄漏報警系統(tǒng)的控制、通訊和警報線路應(yīng)采用阻燃型電纜，電纜敷設(shè)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定。

12．3．12 潔凈廠房內(nèi)的各類安全保護系統(tǒng)均應(yīng)可靠接地，系統(tǒng)接地應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動報警系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定。

12．4 自動控制

12．4．1 潔凈廠房的自動控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)，并應(yīng)具有穩(wěn)定、可靠、節(jié)能、開放和可擴展性。

12．4．2 潔凈廠房應(yīng)對凈化空調(diào)、供熱、供冷、純水和氣體供應(yīng)等系統(tǒng)進(jìn)行自動監(jiān)控。

12．4．3 潔凈室(區(qū))內(nèi)外的壓差監(jiān)測，宜采用壓差變送器通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室(區(qū))的送風(fēng)量或回風(fēng)量。

12．4．4 凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時，電加熱器與風(fēng)機應(yīng)聯(lián)鎖控制，并應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫斷電保護；當(dāng)采用電加濕器時，應(yīng)設(shè)置無水、無風(fēng)斷電保護。

12．4．5 在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，宜對風(fēng)機、水泵等動力設(shè)備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施。

12．5 接 地

12．5．1 功能性接地、保護性接地、電磁兼容性接地、建筑防雷接地宜采用共用接地系統(tǒng)。接地電阻值應(yīng)按其中最小值確定，且不應(yīng)大于1Ω。

12．5．2 當(dāng)電子設(shè)備的功能接地要求分開設(shè)置時，應(yīng)設(shè)有防止雷電反擊設(shè)施。分開設(shè)置的接地系統(tǒng)接地極應(yīng)與共用接地系統(tǒng)接地極保持20m以上的間距。

12．5．3 潔凈廠房防雷接地設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物防雷設(shè)計規(guī)范》GB 50057的有關(guān)規(guī)定。

13 防靜電與接地設(shè)計

13．1 一般規(guī)定

13．1．1 潔凈廠房應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置防靜電環(huán)境。防靜電環(huán)境設(shè)計應(yīng)滿足抑制或減少靜電的產(chǎn)生，以及將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全、有效地排除的要求。

13．1．2 防靜電環(huán)境設(shè)計應(yīng)按電子產(chǎn)品或生產(chǎn)工序(設(shè)備)進(jìn)行分級。防靜電環(huán)境內(nèi)靜電電位絕對值應(yīng)小于電子產(chǎn)品的靜電電位安全值。防靜電環(huán)境設(shè)計應(yīng)分為三級，防靜電環(huán)境設(shè)計分級適用場所應(yīng)符合表13．1．2的要求。

13．2 防靜電措施

13．2．1 潔凈廠房防靜電環(huán)境中，防靜電地面的面層結(jié)構(gòu)和材料應(yīng)符合下列要求：
      1 防靜電地面面層的選擇，應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝的要求；
      2 防靜電地面的表層應(yīng)采用靜電耗散性材料，靜電耗散性材料表面電阻率應(yīng)為2．5×104～1×109Ω；
      3 防靜電地面應(yīng)設(shè)置導(dǎo)靜電泄放設(shè)施和接地連接，其地面對地泄放電阻值應(yīng)為1×105～1×108Ω。

13．2．2 潔凈廠房防靜電環(huán)境的吊頂、墻面和柱面的裝飾設(shè)計，應(yīng)符合下列要求：
      1 一級防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面應(yīng)采用導(dǎo)靜電型。導(dǎo)靜電型地面、墻面、柱面的表面電阻、對地電阻應(yīng)為2．5×104～1×106Ω，摩擦起電電壓不應(yīng)大于100V，靜電半衰期不應(yīng)大于0．1s；
      2 二級防靜電工作區(qū)的地面、墻面、柱面、頂棚、門和軟簾應(yīng)采用靜電耗散型。靜電耗散型地面、墻面、柱面和頂棚、門的表面電阻、對地電阻應(yīng)為1×106～1×109Ω，摩擦起電電壓不應(yīng)大于200V，靜電半衰期不應(yīng)大于1s，但軟簾的摩擦起電電壓不應(yīng)大于300V；
      3 三級防靜電工作區(qū)的地面、墻面和柱面宜根據(jù)生產(chǎn)工藝要求采用靜電耗散型材料或低起電材料，頂棚、門等宜采用低起電材料。選用靜電耗散型材料的地面、墻面和柱面，應(yīng)符合本條第2款的要求；選用低起電材料的地面、墻面、柱面、頂棚、門等的摩擦起電電壓不應(yīng)大于1000V。

13．2．3 潔凈廠房防靜電環(huán)境的門窗設(shè)計，應(yīng)符合下列要求：
      1 應(yīng)選用靜電耗散材料制作門窗或采用耗散材料貼面；
      2 金屬門窗表面應(yīng)涂刷靜電耗散性涂層，并應(yīng)接地；
      3 室內(nèi)隔斷和觀察窗安裝大面積玻璃時，玻璃表面應(yīng)粘貼靜電耗散性透明薄膜或噴涂靜電耗散性涂層。

13．2．4 潔凈廠房防靜電環(huán)境的裝修設(shè)計應(yīng)符合下列要求：
      1 各類裝修材料應(yīng)具有表面靜電耗散性能，不得使用未經(jīng)表面改性處理的高分子絕緣的裝飾材料；
      2 各類裝修的飾面應(yīng)平整光滑。

13．2．5 潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)口和風(fēng)管，應(yīng)選用導(dǎo)電材料制作，并應(yīng)接地。

13．2．6 潔凈廠房防靜電環(huán)境的凈化空調(diào)系統(tǒng)、各種配管使用部分絕緣性材質(zhì)時，應(yīng)在其表面安裝金屬網(wǎng)，并應(yīng)將其接地。當(dāng)使用導(dǎo)電性橡膠軟管時，應(yīng)在軟管上安裝與其緊密結(jié)合的金屬導(dǎo)體，并應(yīng)采用接地引線與其可靠連接接地。

13．2．7 潔凈廠房防靜電環(huán)境中，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的需要設(shè)置靜電消除器、防靜電安全工作臺。

13．3 防靜電接地

13．3．1 潔凈廠房內(nèi)金屬物體包括潔凈室(區(qū))的墻面、門窗、吊頂?shù)慕饘俟羌埽瑧?yīng)與接地系統(tǒng)做可靠連接，導(dǎo)靜電地面、活動地板、工作臺面、座椅等應(yīng)做靜電接地。

13．3．2 靜電接地的連接線應(yīng)有足夠的機械強度和化學(xué)穩(wěn)定性，其主干線截面不應(yīng)小于95mm2 ，支線最小截面應(yīng)為2．5mm2 。

13．3．3 與人體接觸的靜電接地應(yīng)串接限流電阻，限流電阻的阻值宜為1MΩ。

13．3．4 對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動液體、氣體或粉體管道，應(yīng)采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火災(zāi)危險的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。

14 噪聲控制

14．1 一般規(guī)定

14．1．1 潔凈廠房的噪聲控制，應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)的要求，并應(yīng)保持工作人員具有舒適、安全的環(huán)境。

14．1．2 潔凈廠房的噪聲控制設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)企業(yè)噪聲控制設(shè)計規(guī)范》GBJ 87的有關(guān)規(guī)定。

14．1．3 潔凈室(區(qū))的噪聲控制設(shè)計的噪聲級(空態(tài))應(yīng)符合本規(guī)范第3．2．5條的規(guī)定。

14．1．4 潔凈室(區(qū))的噪聲頻譜限制值，應(yīng)采用倍頻程聲壓級，各頻帶聲壓級應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB 50073的有關(guān)規(guī)定。

14．2 噪聲控制設(shè)計

14．2．1 潔凈廠房的平面、空間布置時，應(yīng)根據(jù)噪聲控制要求布置，宜集中布置發(fā)聲設(shè)備。

14．2．2 潔凈室(區(qū))內(nèi)的各種設(shè)備均應(yīng)選用低噪聲產(chǎn)品。對于輻射噪聲值超過規(guī)定的設(shè)備，應(yīng)根據(jù)設(shè)備的特性、外形尺寸等因素，采取降低聲源噪聲的隔聲設(shè)施。潔凈室的圍護結(jié)構(gòu)應(yīng)具有良好的隔聲性能。

14．2．3 凈化空調(diào)系統(tǒng)、公用動力設(shè)備和輸送管道等潔凈廠房的主要噪聲源，應(yīng)采取隔聲、消聲、隔振等噪聲控制措施?？照{(diào)機房、動力站房宜采取下列措施：
      1 圍護結(jié)構(gòu)宜采取吸聲和隔聲處理；
      2 對輻射噪聲值超過規(guī)定的設(shè)備，應(yīng)設(shè)置隔聲屏、隔聲罩或懸掛吸聲體等；
      3 機房、站房內(nèi)控制室的圍護結(jié)構(gòu)，宜采用隔聲性能良好的材料。

14．2．4 潔凈室(區(qū))內(nèi)的各類排風(fēng)系統(tǒng)(不包括事故排風(fēng)系統(tǒng))應(yīng)設(shè)置消聲器等降噪設(shè)施。

15 微振控制

15．1 一般規(guī)定

15．1．1 潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計應(yīng)分階段進(jìn)行，應(yīng)包括設(shè)計、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動測試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計、動力設(shè)備隔振設(shè)計和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計等。

15．1．2 設(shè)計有微振控制要求的潔凈廠房時，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 總平面布置時，應(yīng)核實相鄰廠房、建筑物或構(gòu)筑物對精密設(shè)備、儀器的振動影響；
      2 設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫的設(shè)置、潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計；
      3 對設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈室(區(qū))有振動影響的動力設(shè)備及其管道，應(yīng)采取主動隔振措施；
      4 潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設(shè)備、儀器，經(jīng)測試確認(rèn)受到周圍振動影響時，應(yīng)采取被動隔振措施。

15．2 容許振動值

15．2．1 微振動控制設(shè)計應(yīng)根據(jù)精密儀器、設(shè)備的特性，采取綜合隔振措施，并應(yīng)滿足容許振動值的要求。

15．2．2 精密設(shè)備、儀器的容許振動值物理量的表述，應(yīng)采用時間域或頻率域的振動加速度、振動速度和振動位移等。

15．2．3 精密儀器、設(shè)備的容許振動值，應(yīng)由制造商提供。無法確定時，可按本規(guī)范附錄C或根據(jù)其工作特性確定。

15．3 微振動控制設(shè)計

15．3．1 潔凈廠房的微振動控制設(shè)計，應(yīng)按下列階段進(jìn)行微振動測試分析。
      1 場地環(huán)境振動測試及分析；
      2 潔凈廠房建筑結(jié)構(gòu)振動特性測試及分析；
      3 精密設(shè)備、儀器安裝地點環(huán)境振動測試及分析；
      4 微振動控制的最終測試及分析。

15．3．2 有微振動控制要求的潔凈室(區(qū))，其建筑結(jié)構(gòu)的微振動控制設(shè)計，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 建筑物基礎(chǔ)宜置于動力性能良好的地基土上，且基礎(chǔ)應(yīng)有足夠剛度；
      2 應(yīng)設(shè)置獨立的建筑結(jié)構(gòu)微振動控制體系，并應(yīng)與廠房主體結(jié)構(gòu)分隔；
      3 主體結(jié)構(gòu)應(yīng)根據(jù)微振動控制的要求，適當(dāng)加大梁、柱、墻、基礎(chǔ)等截面尺寸。

15．3．3 有強烈振動的設(shè)備和管道，宜采取主動隔振措施，并應(yīng)符合下列要求．
      1 宜采用隔振臺(座)；
      2 應(yīng)選用剛度適當(dāng)?shù)母粽衿鳎?/span>
      3 通往潔凈室(區(qū))的管道，宜采取隔振支(吊)架、柔性連接等隔振措施。

15．3．4 潔凈室內(nèi)精密設(shè)備、儀器的被動隔振措施的設(shè)計，應(yīng)符合下列要求：
      1 隔振臺(座)應(yīng)具有足夠的剛度；
      2 應(yīng)采用低剛度隔振設(shè)施；
      3 隔振系統(tǒng)各向阻尼比不應(yīng)小于0．15；
      4 隔振臺(座)應(yīng)采取傾斜校正措施；
      5 隔振設(shè)施不應(yīng)影響氣流流型，
      6 當(dāng)采用空氣彈簧隔振器時，其供氣系統(tǒng)應(yīng)進(jìn)行凈化處理，并應(yīng)達(dá)到潔凈室空氣潔凈度等級的要求。

附錄A 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)對空氣潔凈度等級的要求

附錄B 電子產(chǎn)品生產(chǎn)間／工序的火災(zāi)危險性分類舉例

      注 ① 表中房間在設(shè)備密閉性良好，并設(shè)有氣體或可燃蒸氣報警裝置和滅火裝置時，應(yīng)按丙類設(shè)防，否則仍應(yīng)按甲類設(shè)防。
      ② 屏錐加工車間中低熔點玻璃配制和低熔點玻璃涂復(fù)間面積超過本層或防火分區(qū)總面積5％時，生產(chǎn)類別應(yīng)為乙類設(shè)防。
      ③ 光纜外皮采用發(fā)泡塑料時，該生產(chǎn)線應(yīng)為丙類。

附錄C 精密儀器、設(shè)備的容許振動值舉例

附錄D 潔凈室(區(qū))性能測試和認(rèn)證

D．1 通 則

D．1．1 潔凈室(區(qū))應(yīng)定期進(jìn)行性能測試。以認(rèn)證潔凈室(區(qū))始終符合本規(guī)范的要求。

D．1．2 潔凈室(區(qū))性能測試認(rèn)證工作，應(yīng)由專門檢測認(rèn)證單位承擔(dān)，并應(yīng)提交檢測報告。

D．1．3 測試和認(rèn)證工作之前，系統(tǒng)應(yīng)達(dá)到穩(wěn)定運行。測試儀表應(yīng)在標(biāo)定證書有效使用期內(nèi)。

D．1．4 潔凈室(區(qū))的占用狀態(tài)應(yīng)有空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)，其性能測試和認(rèn)證宜為靜態(tài)或動態(tài)。

D．2 潔凈室(區(qū))性能測試要求

D．2．1 確認(rèn)潔凈室(區(qū))符合本規(guī)范要求，應(yīng)進(jìn)行下列基本測試：
      1 空氣潔凈度等級測定；
      2 靜壓差；
      3 風(fēng)速或風(fēng)量。

D．2．2 空氣潔凈度等級、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量的認(rèn)證測試的最長時間間隔應(yīng)符合表D．2．2—1和表D．2．2—2的規(guī)定。

      注1 若潔凈室(區(qū))運行中已對粒子濃度、風(fēng)速、靜壓差進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測，且其測試值均符合本規(guī)范要求時，認(rèn)證的測試時間間隔可延長。具體間隔時間，可與認(rèn)證單位洽商。

      2 空氣潔凈度等級認(rèn)證，可在靜態(tài)或動態(tài)檢測，洽商確定，
      3 風(fēng)量測定，應(yīng)采用風(fēng)速計在風(fēng)口或風(fēng)管測定。

D．2．3 電子工業(yè)潔凈室(區(qū))的認(rèn)證測試，除空氣潔凈度等級、靜壓差、風(fēng)速或風(fēng)量測試外，還應(yīng)根據(jù)需要進(jìn)行表D．2．3規(guī)定的洽商選擇測試項目。

D．3 潔凈室測試方法

D．3．1 風(fēng)量或風(fēng)速測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 對于單向流潔凈室，應(yīng)采用截面平均風(fēng)速和截面乘積的方法確定送風(fēng)量，并應(yīng)取離高效過濾器300mm垂直于氣流的截面作為測試平面。應(yīng)將測試平面分成相等的柵格，每個柵格尺寸應(yīng)為600mm×600mm或末端空氣過濾器尺寸，測點應(yīng)在柵格中心或不應(yīng)少于3點。每一點的測試時間不應(yīng)少于10s。應(yīng)記錄平均值、最大值和最小值，并應(yīng)以算術(shù)平均值作為平均風(fēng)速。
      2 對于非單向流潔凈室，每一點的測試時間不應(yīng)少于10s。
      3 在每個末端空氣過濾器或散流器處，應(yīng)采用風(fēng)口法、風(fēng)管法、風(fēng)罩法等測量送風(fēng)風(fēng)速確定送風(fēng)量，每個測試位置的測點數(shù)不應(yīng)少于3點。

D．3．2 靜壓差測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 靜壓差的測定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時進(jìn)行。
      2 儀器宜采用各種型式的微壓計，儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。
      3 潔凈廠房有多個潔凈室(區(qū))時，應(yīng)從最里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始，并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測。

D．3．3 已安裝的空氣過濾器泄漏測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 儀器應(yīng)使用采樣量大于1 l／mm的光學(xué)粒子計數(shù)器。
      2 應(yīng)在過濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0．1μm(0．5μm)粒子，粒子濃度應(yīng)大于3．5×107P／m3的大氣塵或其他氣溶膠；在過濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計數(shù)器的等動力采樣頭放在距離被檢過濾器表面20～30mm處，并應(yīng)以5～20mm／s速度移動。應(yīng)檢測包括過濾器的整個面和過濾器周邊、過濾器框架及其密封處的掃描。

D．3．4 潔凈度的檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 應(yīng)使用采樣量大于1 l／min光學(xué)粒子計數(shù)器，應(yīng)根據(jù)粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計數(shù)效率等要求選用儀器。儀器應(yīng)有有效的標(biāo)定合格證書。
      2 最少采樣點應(yīng)按下式計算：
NL＝A0.5 (D．3．4—1)
式中 NL——最少采樣點；
A——潔凈室或被控潔凈區(qū)的面積(㎡)。
采樣點應(yīng)均勻分布于潔凈室(區(qū))的整個面積內(nèi)，并應(yīng)位于工作區(qū)的高度。
      3 每一采樣點的每次采樣量應(yīng)按下式確定：

      4 當(dāng)潔凈室(區(qū))僅有一個采樣點時，則在該點應(yīng)至少采樣3次。

D．3．5 氣流流型的檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 氣流流型的檢測，宜采用氣流目測法。
      2 氣流目測法有示蹤線法、示蹤劑注入法，并應(yīng)用圖像處理技術(shù)記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應(yīng)成為潔凈室(區(qū))的一種污染源。
      3 示蹤線法應(yīng)為通過觀察放置在測試桿末端或氣流中細(xì)鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等，直接目測得到氣流方向或因干擾引起的波動。
      4 示蹤劑注入法，可采用純水噴霧或化學(xué)法生成的乙醇／正二醇等示蹤劑粒子的特性，在高強度光源下進(jìn)行觀察或做成圖像。
      5 應(yīng)采用圖像處理技術(shù)進(jìn)行氣流目測，本法一般是與示蹤法結(jié)合，將在攝像機或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術(shù)處理得到氣流特性。
      6 氣流目測的測點位置、儀器等，應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))的具體條件洽商確定。

D．3．6 溫度、相對濕度的檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 溫度、相對濕度的檢測應(yīng)在潔凈室(區(qū))內(nèi)氣流分布均勻狀態(tài)測試，并應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)試運轉(zhuǎn)合格后安排進(jìn)行。溫度、相對濕度檢測應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)運轉(zhuǎn)，并應(yīng)至少穩(wěn)定運行1．0h后進(jìn)行。
      2 相對濕度檢測應(yīng)將潔凈工作區(qū)劃分為等面積網(wǎng)格，每格最大面積應(yīng)為100㎡，應(yīng)每格一個測點，但每個房間不應(yīng)少于2個測點。
      3 檢測用探測器應(yīng)設(shè)在潔凈室(區(qū))內(nèi)的工作高度，且距潔凈室(區(qū))的吊頂、墻和地面不應(yīng)少于300mm。并應(yīng)考量潔凈室(區(qū))內(nèi)可能存在的熱源的影響。
      4 檢測時間應(yīng)至少1．0h，并應(yīng)至少6mm進(jìn)行1次(30s)讀數(shù)、記錄。

D．3．7 噪聲檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測應(yīng)采用帶倍頻程分析的聲級計。
      2 潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測點應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。噪聲檢測點宜距地面1．1～1．5m，距墻應(yīng)大于3m；檢測點的布置宜按潔凈室(區(qū))面積均分，宜每100m2設(shè)一檢測點。

D．3．8 照度測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 潔凈室(區(qū))內(nèi)照度檢測宜采用便攜式自動記錄照度計。
      2 照度檢測應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定、光源光輸出穩(wěn)定后進(jìn)行。潔凈室(區(qū))照度檢測不應(yīng)包括生產(chǎn)設(shè)備等的局部照明和備用照明。
      3 照度檢測點應(yīng)設(shè)在工作高度，宜距地面0．85m，應(yīng)每25㎡設(shè)一個測點。

D．3．9 微振檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 潔凈室(區(qū))內(nèi)有微振控制要求的場所的檢測，應(yīng)采用符合精密設(shè)備、儀器容許振動值要求的微振測試分析系統(tǒng)進(jìn)行分階段測試。
      2 微振檢測點應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))內(nèi)需進(jìn)行微振控制的精密設(shè)備、儀器的布置和微振控制設(shè)計的要求設(shè)置，一般檢測點應(yīng)設(shè)在微振控制相關(guān)的地面、樓面、基礎(chǔ)面等。
      3 微振控制的檢測應(yīng)由具有相應(yīng)資質(zhì)的單位進(jìn)行。現(xiàn)場檢測數(shù)據(jù)等應(yīng)經(jīng)過科學(xué)分析后，提供微振控制檢測報告，應(yīng)包括檢測數(shù)據(jù)的分析、結(jié)論等。

D．3．10 自凈時間檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 自凈時間的檢測，宜用于非單向流潔凈室。
      2 自凈時間的檢測，宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn)，并宜以粒子計數(shù)器進(jìn)行檢測，同時應(yīng)符合下列要求。
      1)以大氣塵為基準(zhǔn)時，則必須將潔凈室停止運行相當(dāng)時間，在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時，測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N0)。然后開機，定時讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次)，直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來的穩(wěn)定狀態(tài)，記錄下所需的時間(t)。
      2)以人工塵源為基準(zhǔn)時，應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1．8m以上室中心，發(fā)煙1～2min后停止，等待1min，測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N0)。然后開機，方法同上。
      3 由初始濃度(N0)、室內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的濃度(N)、實際換氣次數(shù)(n)，可得到計算自凈時間(t0)，與實測自凈時間(t)進(jìn)行對比，如果t≤1. 2t0，為合格。
      4 自凈時間檢測方法除上述方法外，還有微粒濃度變化率評估法等。自凈時間檢測方法應(yīng)洽商確定。

D．3．11 密閉性檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：
      1 密閉性檢測或稱抑制滲漏測試，是測定潔凈室(區(qū))有無受污染的空氣從周圍具有相同或不相同靜壓的較低潔凈度等級的潔凈室(區(qū))或非潔凈室(區(qū))侵入。本檢測一般用于ISO 1～5級潔凈室(區(qū))。
      2 采用粒子計數(shù)器法檢測潔凈室(區(qū))的密閉性，檢測時應(yīng)先測量緊靠被測圍護結(jié)構(gòu)表面外部的懸浮粒子濃度，一般此濃度應(yīng)比潔凈室(區(qū))內(nèi)濃度大104，并大于等于3. 5×106個／m3待測粒徑的粒子。
      3 潔凈室(區(qū))的施工接縫，包括對墻板、吊頂?shù)慕涌p和管線、燈具等的接縫的滲漏檢測，應(yīng)在被測部位的50～100mm處掃描，其掃描速度為50mm／s。
潔凈室敞開門處的滲漏檢測，應(yīng)在距離門0．3～3．0m處測定潔凈室內(nèi)的懸浮粒子濃度。
記錄并報告比測得的外部相同粒徑粒子濃度大于10-3倍的讀數(shù)和位置。

D．4 認(rèn) 證

D．4．1 潔凈廠房性能測試認(rèn)證前，應(yīng)由業(yè)主與認(rèn)證單位簽訂協(xié)議書，協(xié)議書中應(yīng)明確檢測項目、測點位置及數(shù)量、測量要求和限值等，如測量空氣懸浮粒子濃度采樣點數(shù)、每次最少的空氣采樣量、采樣時間、每個采樣點的測量次數(shù)、測量時間間隔、被計數(shù)粒子的粒徑，以及粒子數(shù)的限值等。

D．4．2 按協(xié)議書規(guī)定及本附錄第D．2節(jié)的要求，以及本附錄第D．3節(jié)的方法進(jìn)行測試，若測試結(jié)果在規(guī)定的限值之內(nèi)，說明該潔凈室(區(qū))符合規(guī)定要求。若測試結(jié)果超過規(guī)定的限值，說明該潔凈室(區(qū))不符合要求，應(yīng)進(jìn)行改進(jìn)，在完成改進(jìn)工作之后，應(yīng)進(jìn)行再認(rèn)證。

D．4．3 每次性能測試或再認(rèn)證測試應(yīng)作記錄，并提交性能合格或不合格的綜合報告。測試報告應(yīng)包括下列內(nèi)容：
      1 測試機構(gòu)的名稱、地址；
      2 測試日期和測試者簽名；
      3 執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)的編號及標(biāo)準(zhǔn)出版日期；
      4 被測試潔凈室(區(qū))的地址、測試項目、測點的特定編號及坐標(biāo)圖；
      5 被測潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級、被測粒徑、被測潔凈室(區(qū))所處的狀態(tài)、氣流流型和靜壓差、全部采樣點坐標(biāo)圖上注明所測的粒子濃度；
      6 測量用儀器的編號和標(biāo)定證書；測試方法細(xì)則及測試中特殊情況，
      7 測試結(jié)果包括所有測試項目的記錄數(shù)據(jù)、分析結(jié)論等；
      8 對異常測試值進(jìn)行說明及數(shù)據(jù)處理；
      9 注明上次的測試日期，
      10 設(shè)施的測試檔案可作為下次檢測計劃的依據(jù)。

D．4．4 測試機構(gòu)應(yīng)提交潔凈室檢驗證書、再檢驗證書。

D．5 記 錄

D．5．1 記錄保存應(yīng)符合質(zhì)量控制程序的要求。

D．5．2 應(yīng)按常規(guī)或定期的測試方法和儀表檢測，將初始觀察記錄、計算、數(shù)據(jù)處理和最終報告，以及測試評價、報告人員簽名和日期

本規(guī)范用詞說明

1 為便于在執(zhí)行本規(guī)范條文時區(qū)別對待，對要求嚴(yán)格程度不同的用詞說明如下：
      1)表示很嚴(yán)格，非這樣做不可的用詞
正面詞采用“必須”，反面詞采用“嚴(yán)禁”。
      2)表示嚴(yán)格，在正常情況下均應(yīng)這樣做的用詞．
正面詞采用“應(yīng)”，反面詞采用“不應(yīng)”或“不得”。
      3)表示允許稍有選擇，在條件許可時首先應(yīng)這樣做的用詞：
      正面詞采用“宜”，反面詞采用“不宜”，
      表示有選擇，在一定條件下可以這樣做的用詞，采用“可”。

2 本規(guī)范中指明應(yīng)按其他有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范執(zhí)行的寫法為“應(yīng)符合．．．．．．的規(guī)定”或“應(yīng)按．．．．．．執(zhí)行”。